[发明专利]溅射靶

权利要求书

1.一种用于铸造反应材料PVD靶的方法，所述方法包括以下步骤：

-提供限定开口的模具，所述模具具有封闭底部；

-将反应材料锭放入邻近模具的储存器内；

-在储存器中形成真空或惰性气体氛围并熔化反应材料；

-将模具加热到高于铸造温度并在模具中形成真空或惰性气体氛围；

-将熔化的反应材料从储存器引入开口；和

-使模具冷却，以形成反应材料PVD靶。

2.根据权利要求1所述的方法，其中提供限定开口的模具的步骤和将反应材料锭放入邻近模具的储存器内的步骤之后是密封储存器和模具的熔化的反应材料被引入其内的一部分。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中储存器和模具安装在一起以形成可密封的容积。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中将熔化的反应材料从储存器引入开口包括允许熔化的反应材料流入模具。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中所述靶包括管式反应材料PVD靶，并且其中提供模具包括提供包括模具外壳和布置在所述模具外壳内的芯棒的模具，所述模具外壳和所述芯棒限定在它们之间的圆柱环形开口，所述芯棒具有限定芯区域的内壁。

6.根据权利要求5所述的方法，其中加热模具包括加热内壁。

7.根据权利要求5至6中任一项所述的方法，其中加热模具包括加热所述模具外壳。

8.根据权利要求5至7中任一项所述的方法，其中加热所述模具外壳包括借助来自内壁的热辐射加热所述模具外壳。

9.根据权利要求5至8中任一项所述的方法，其中冷却模具包括向芯区域的内壁引导流体冷却介质。

10.根据权利要求5至9中任一项所述的方法，其中冷却模具包括向模具外壳引导流体冷却介质。

11.根据权利要求9或10所述的方法，其中引导流体冷却介质包括通过淋喷头喷洒流体冷却介质。

12.根据权利要求9至11中任一项所述的方法，其中流体冷却介质包括从水、水溶液和基于油的合成物所构成的组中选择的流体。

13.根据权利要求9所述的方法，其中引导流体冷却介质包括通过淋喷头喷洒流体冷却介质，所述淋喷头安装在加热器的远端处，所述加热器构造成用于插入所述芯区域中。

14.根据权利要求13所述的方法，其还包括同时从所述芯区域取出加热器和通过淋喷头喷洒流体冷却介质。

15.根据权利要求6至14中任一项所述的方法，其中所述模具竖直地取向，并且内壁和模具外壳中的至少一个从底部到顶部被冷却。

16.根据权利要求6至15中任一项所述的方法，其中使模具冷却包括同时冷却芯棒的内壁和模具外壳。

17.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其还包括在熔化的反应材料被引入所述模具之后且在所述模具冷却之前搅拌所述模具。

18.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其还包括从管式PVD靶去除模具外壳的壁。

19.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中反应材料从锂和基于锂的合金构成的组中选择。

20.一种根据权利要求中1-19中任一项所述的方法铸造的反应材料PVD靶。

21.一种PVD靶，其包括：

基本结构；和

布置在基础材料上的反应材料铸层。

22.根据权利要求21所述的PVD靶，其中基本结构包括具有限定芯区域的内壁的芯棒，并且反应材料铸层布置在芯棒的外壁上，并且芯棒和锂铸层限定管式结构。

23.根据权利要求21或22所述的PVD靶，反应材料层以未反应的形式被提供。

24.根据权利要求21至23中任一项所述的PVD靶，其中反应材料铸层包括锂层。

25.根据权利要求21至24中任一项所述的PVD靶，其中反应材料铸层包括小于空间的百分之一的容积。