[发明专利]电容式超声换能器

权利要求书

1.电容式超声换能器，包括一个具有背板以及安装在背板上的膜片的传感器头，所述背板的结构化的正面设有绝缘层并且其背面设有电极，所述膜片作为声发生器，其特征在于，膜片沿平面方向被施加拉应力。

2.根据权利要求1所述的超声换能器，其特征在于，膜片被压紧在两个环之间。

3.根据权利要求1所述的超声换能器，其特正在于，膜片与至少一个环焊接在一起。

4.根据权利要求1至3之一所述的超声换能器，其特征在于，膜片的材料选自Ni-Cr合金、奥氏体钢、铁素体钢或“超级合金。

5.根据权利要求4所述的超声换能器，其特征在于，膜片由一种铬含量至少为16％和铝含量至少为1％的材料构成。

6.根据权利要求1所述的超声换能器，其特征在于，绝缘层由一种具有非结晶结构的材料构成。

7.根据权利要求6所述的超声换能器，其特征在于，绝缘层由多个非结晶层构成。

8.根据权利要求1所述的超声换能器，其特征在于，背电极具有多层的结构，其中至少一个层相对于背板的基底材料构成扩散阻挡层，以及表面层由铂构成。

9.根据权利要求1所述的超声换能器，其特征在于，传感器头设计成独立于超声换能器的其余部分可更换的组件。

10.根据权利要求1至9之一所述的超声换能器，其特征在于，设置有一个用于声辐射面的加热装置。

11.根据权利要求1至10之一所述的超声换能器，其特征在于，通过在换能器中的通道连接在膜片上方和下方的各区域。

12.根据权利要求11所述的超声换能器，其特征在于，在通道中设置有过滤器。

13.根据权利要求1至12之一所述的超声换能器，其特征在于，经由一个弹性销触点接通传感器头的背板。

14.根据权利要求13所述的超声换能器，其特征在于，在销和背板之间插入一个金属的中间板。