[发明专利]等离子体生成方法及生成装置

权利要求书

1.一种等离子体生成方法，其通过对供给的气体施加电压，利用电介质管内的放电而生成等离子体，其中，

高电压电极设置于该电介质管的外侧，在该电介质管的内周具有间隙的状态下对排出到该电介质管内的流体设置接地电极，并通过对与电源装置连接的该高电压电极和该接地电极施加电压而在该电介质管的内壁与该流体之间产生放电。

2.根据权利要求1所述的等离子体生成方法，其中，

向所述电介质管排出流体的通水管配置于该电介质管的内部或上方。

3.一种等离子体生成方法，其通过对供给的气体施加电压，利用电介质管内的放电而生成等离子体，其中，

高电压电极设置于该电介质管的外侧，在该电介质管的内部配置流体通过的通水管，在该电介质管的内周具有间隙的状态下对通过通水管而向该电介质管内排出的流体设置接地电极，并通过对与电源装置连接的该高电压电极和该接地电极施加电压而在该电介质管的内壁和该通水管之间产生放电。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的等离子体生成方法，其中，

供给的所述气体的量和流体的量为气液比0.5以下。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的等离子体生成方法，其中，

供给的所述气体是至少含有氧的气体、非活性气体中的任意气体。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的等离子体生成方法，其中，

使用通过了产生所述放电的部分的流体作为再次向所述电介质管内排出的流体，或者将通过了产生所述放电的部分的流体再次向所述通水管的上游侧送回，使该流体进行循环。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的等离子体生成方法，其中，

具有将所述电介质管、所述通水管、导入供给的所述气体的导入口的连结形成为抽吸结构的连结部，

在从该通水管的排出口排出的流体和该电介质管内部的间隙产生强的负压，通过气蚀而使通过放电而产生的气体溶于流体中。

8.一种等离子体生成装置，其包括：

外侧设置有高电压电极的电介质管；

配置于该电介质管的内部或上方的通水管；

接地电极，其设置成以该电介质管的内周具有间隙的状态与排出到该电介质管内的流体接触；以及

连接该高电压电极和该接地电极的电源装置构成。

9.根据权利要求8所述的等离子体生成装置，其中，

所述高电压电极设置在所述电介质管和所述通水管重叠的部分的所述电介质管的外侧。

10.根据权利要求8或9所述的等离子体生成装置，其中，

所述接地电极设置在所述电介质管的内部或从所述电介质管排出的所述流体中。

11.根据权利要求8～10中任一项所述的等离子体生成装置，其中，

用绝缘化合物包覆所述接地电极。

12.根据权利要求11所述的等离子体生成装置，其中，

所述绝缘化合物为玻璃。

13.根据权利要求8～12中任一项所述的等离子体生成装置，其中，

所述电介质管至少为陶瓷或玻璃中的任一种。

14.根据权利要求8～13中任一项所述的等离子体生成装置，其中，

所述通水管由陶瓷、玻璃、树脂、金属中的任一种制成。

15.根据权利要求14所述的等离子体生成装置，其中，

所述树脂为氟类树脂。

16.根据权利要求8～15中任一项所述的等离子体生成装置，其具有将通过了产生所述放电的部分的流体再次送回到所述通水管的上游侧而使流体循环的结构。

17.根据权利要求8～16中任一项所述的等离子体生成装置，其中，

所述电介质管、所述通水管、设置于该电介质管的气体导入口形成为抽吸结构。