[发明专利]在使用过程中为声光射束偏转器和声光调制器提供温度稳定性的系统和方法

权利要求书

1.一种使用热稳定的声光射束偏转器进行激光加工的方法，所述方法包括步骤：

生成与激光脉冲序列对应的RF脉冲序列，所述激光脉冲序列具有激光脉冲重复率，RF脉冲包括用于使所述激光脉冲序列偏转向各自的传输方向和非传输方向的在传输RF频率下的传输RF脉冲和在非传输RF频率下的非传输RF脉冲，每个RF脉冲包括RF频率、RF振幅和持续时间；

控制每个RF脉冲使得所述RF脉冲序列提供调制的RF驱动信号，所述调制的RF驱动信号被调制以在声光偏转器上提供平衡的热负荷；

向声光偏转器施加调制的RF驱动信号；以及

使用调制的RF驱动信号利用声光偏转器使至少一个激光脉冲偏转，以便用预定的脉冲能量照射选定的目标位置。

2.如权利要求1所述的方法，其中控制每个RF脉冲的步骤还包括控制每个RF脉冲的振幅和持续时间。

3.如权利要求2所述的方法，其中每个RF脉冲的持续时间包括激光重复率下的至少50％的工作循环。

4.如权利要求1所述的方法，其中激光脉冲的重复率大于100KHz。

5.如权利要求1所述的方法，其中每个传输RF脉冲的持续时间是对应于包括基本100％工作循环的有效激光脉冲传输的最短持续时间，借此使激光脉冲重复率最大化。

6.如权利要求1所述的方法，其中所述激光脉冲重复率大约为300KHz。

7.如权利要求2所述的方法，其中控制每个RF脉冲的持续时间的步骤包括在激光重复率下使产生的RF脉冲各自的工作循环在50％至100％的范围内生成RF脉冲，以及控制非传输RF脉冲的持续时间以便向声光偏转器提供平衡的热负荷。

8.如权利要求1所述的方法，其中调制的驱动信号提供基本恒定的平均RF功率以便使声光射束偏转器热稳定。

9.如权利要求1所述的方法，其中所述控制步骤还包括在相应的激光脉冲触发之前定时连续的RF脉冲的生成，以计算在声光偏转器中的传播延迟，以及包括调制RF脉冲振幅以便在偏转器中同时传播多振幅调制的声音脉冲。

10.如权利要求9所述的方法，其中所述调制RF脉冲振幅的步骤提供了至少2个具有不同RF脉冲能量的非传输RF脉冲，以使所述声光射束偏转器热稳定。

11.如权利要求9所述的方法，其中所述调制RF振幅的步骤提供了至少2个具有不同RF脉冲能量的传输RF脉冲。

12.如权利要求1所述的方法，其中所述方法还包括步骤：存储RF功率参考值，预测施加给声光射束偏转器的平均RF功率，将预测值与参考值相比较，以及基于比较结果确定至少一个相应的非传输RF脉冲的RF脉冲能量。

13.如权利要求1所述的方法，其中所述方法还包括步骤：存储校正表值，该校正表值用于表示偏转器RF频率的传输范围上的偏转器光传输与偏转RF频率之间的关系，其中控制步骤包括基于偏转频率和相应的存储的校正表值调制传输RF脉冲的振幅。

14.如权利要求1所述的方法，其中所述方法还包括操作激光加工系统，从而相对于偏转的激光束移动基底，以及在预定的激光脉冲能量公差内向基底上的选定的目标位置传输补偿的激光脉冲能量。

15.如权利要求1所述的方法，其中所述方法还包括当计算出的声光射束偏转器的RF功率超过预定的容错时停止激光加工。

16.一种向声光射束偏转器提供热稳定性的方法，所述方法包括步骤：

向声光射束偏转器提供传输RF脉冲以便声光射束偏转器指引加工激光脉冲沿着终止于目标基底的光路；以及

向声光射束偏转器提供非传输RF脉冲以便声光射束偏转器指引非加工激光脉冲沿着光路，所述光路终止于没有到达目标基底的位置，其中每个非传输RF脉冲具有被选择向声光射束偏转器提供热稳定性的脉冲特性。

17.如权利要求16所述的方法，其中所述脉冲特性是非传输RF脉冲的振幅。

18.如权利要求16所述的方法，其中所述脉冲特性是非传输RF脉冲的频率。

19.如权利要求16所述的方法，其中所述脉冲特性是非传输RF脉冲的脉冲宽度。