[发明专利]试料的制作装置、制作方法以及使用该制作装置和制作方法的带电粒子线装置

权利要求书

1.一种带电粒子线装置，具备：

向试料照射带电粒子的电子光学系统；

检测从所述试料放出的带电粒子的检测系统；以及

真空室，

所述带电粒子线装置的特征在于，

所述真空室具备：

收纳液体的液池；以及

产生超声波振动的超声波振动机构，

所述超声波振动机构向该液池内的液体中传播超声波振动。

2.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述液体为离子液体。

3.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述真空室具备移动所述试料的移动机构，

所述移动机构位于所述电子光学系统和所述液池之间。

4.根据权利要求3所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述真空室在所述移动机构的移动轨道上具备将所述真空室内的空间分隔的可开闭的阀，

该分隔出的空间中的至少一个具备真空排气机构。

5.根据权利要求3所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述移动机构具备使所述试料旋转的旋转机构。

6.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述真空室具备去除所述液体的液体去除机构，

所述液体去除机构位于所述电子光学系统和所述液池之间。

7.根据权利要求6所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述液体去除机构为不活泼气体供给机构。

8.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述真空室具备控制所述超声波振动的控制机构，

所述控制机构以使所述超声波振动的频率变化的方式控制所述超声波振动机构。

9.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述真空室具备向所述试料的表面照射离子而进行铣削的铣削机构，

所述铣削机构位于所述电子光学系统和所述液池之间。

10.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述真空室具备在所述真空室和外部之间供给所述液体的液体供给单元。

11.一种试料的制作装置，具备真空室，

所述试料的制作装置的特征在于，

所述真空室具备：

收纳液体的液池；以及

产生超声波振动的超声波振动机构，

所述超声波振动机构向该液池内的液体中传播超声波振动。

12.根据权利要求11所述的试料的制作装置，其特征在于，

所述液体为离子液体。

13.根据权利要求11所述的试料的制作装置，其特征在于，

构成所述真空室的壁面中的至少一面包含具有透明性的材料。

14.根据权利要求13所述的试料的制作装置，其特征在于，

所述材料包含玻璃质物质。

15.一种试料的制作方法，其是在真空中制作试料的试料的制作方法，所述试料的制作方法的特征在于，

该制作方法包含：

使离子液体与包含成为试料的加工对象的部位在内的区域接触的第一工序；以及

使超声波振动向该试料的区域所接触的离子液体中传播的第二工序。

16.根据权利要求15所述的试料的制作方法，其特征在于，

在所述第二工序之后将附着在所述试料的离子液体去除。

17.一种试料的观察方法，其对试料照射带电粒子线，并基于检测从所述试料放出的带电粒子而得到的图像对试料进行观察，

所述试料的观察方法的特征在于，

在真空状态下，包含：

使离子液体与包含成为所述试料的加工对象的部位在内的区域接触的第一工序；

使超声波振动向该离子液体中传播的第二工序；以及

在进行所述第二工序之后观察试料的工序。

18.根据权利要求17所述的试料的观察方法，其特征在于，

在所述第二工序之后，将附着在所述试料的离子液体去除。

19.根据权利要求17所述的试料的观察方法，其特征在于，

在所述第二工序之后，对所述试料照射离子束而进行试料的离子铣削。