[发明专利]用于多晶硅反应器的清洁工具

权利要求书

1.一种用于清洁化学气相沉积反应器钟形壳的内表面的系统，所述系统包括：

用于连接到所述反应器钟形壳的凸缘上的框架；

连接到所述框架的致动机构，所述致动机构构造成在所述反应器钟形壳连接到所述框架时，在所述反应器钟形壳的内部空间内作垂直及转动运动；

与所述致动机构连接的至少一个刷子，所述刷子构造成与所述反应器钟形壳的内表面接触；和

连接到所述致动机构的至少一个喷嘴，所述喷嘴构造成将液体流引向所述反应器钟形壳的内表面。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括与所述至少一个刷子连接的旋转致动器，所述旋转致动器构造成转动所述刷子。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括将所述至少一个刷子连接到所述致动机构的线性致动器。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括干燥喷嘴，用于将气体流引向形成在所述反应器钟形壳内的窗口的内表面。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述系统还包括帮助检视所述窗口的光源。

6.一种利用刷子清洁化学气相沉积反应器钟形壳的内表面的方法，所述方法包括：

将所述反应器钟形壳设置在一框架上；

操作第一致动器，以使刷子与所述反应器钟形壳的内表面接合；

将液体流从喷嘴引向所述反应器钟形壳的内表面；以及

操作第二致动器以转动所述刷子。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述方法还包括使致动机构围绕平行于所述反应器钟形壳的纵向轴线的垂直轴线转动。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法还包括沿平行于所述反应器钟形壳的纵向轴线的垂直轴线移动所述致动机构。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述方法还包括测量所述内表面的污染物的数量。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述方法还包括基于所述内表面的污染物的数量调整转动和垂直运动的速率。

11.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述方法还包括将气体流引向形成在所述反应器钟形壳内的窗口的内表面。