[发明专利]显微观察用光学装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于放大来自物体的光来进行观察的显微观察用光学装置。

背景技术

一直以来，使用用于观察来自物体的红外线等的特定波长的光的光学装置。在这样的光学装置中，设置有抑制来自物体以外的光的影响那样的结构。例如在下述专利文献1中，公开有具有切片（segment）化了的环状暖罩（warm shield）的红外线检测装置。在该红外线检测装置，在包围红外线检测器的冷罩（Cold Shield）的前面设置有真空窗，在该真空窗的前方配置有3个环状反射构件。这些环状反射构件在中心形成有开口，这些开口以相对于检测装置的中心轴位于对象的方式并列配置于中心轴上。各个开口的大小根据红外线检测器所检测的光学像的直径设定。另外，这些环状反射构件的内侧的面形成环状面。

另外，在下述专利文献2中，公开有用于经由交换透镜使来自物体的红外光入射至检测元件的红外线光学装置，该红外线光学装置具备设置于检测元件的周围的杜瓦瓶、以及设置于杜瓦瓶的外部的2个镜孔径（mirror aperture），这些镜孔径能够沿着交换透镜的光轴移动。在该镜孔径的内侧设置有镜面，来自物体的红外光通过镜孔径的开口部而到达杜瓦瓶内的检测元件，另一方面，从检测元件看镜面时仅看到冷却了的部分、即检测元件，因此，从物体以外放射的红外光不入射至检测元件。其结果，能够实现良好的成像性能。

专利文献

专利文献1：美国专利第4,820,923号

专利文献2：日本特开平6-160696号公报

发明内容

发明所要解决的问题

然而，在上述专利文献1所记载的红外线检测装置中，配合冷罩的开口而设定环状反射构件的开口的大小，因此，在切换配置于物体侧的光学系统的倍率时，难以使对应于其倍率的像入射至检测元件。

另外，在上述专利文献2所记载的红外线光学装置中，在交换物体侧的交换透镜时能够通过沿着交换透镜的光轴使镜孔径移动从而以倍率不同的各种数值孔径的交换透镜适当地观察物体，但是，需要用于镜孔径的位置调整的机构，存在装置大型化的趋势。另外，在交换对象的多个交换透镜的像侧数值孔径的差大的情况下，需要加长镜孔径的可调整距离，因而存在装置大型化的趋势。

因此，本发明是有鉴于该问题而完成的发明，其目的在于提供一种能够将物体的观察倍率切换为多个并且可以容易地实现装置的小型化的显微观察用光学装置。

解决问题的技术手段

为了解决上述问题，本发明的一个侧面所涉及的显微观察用光学装置，是使来自物体的光入射至摄像元件的显微观察用光学装置，具备：冷屏（cold stop），具有对应于具有第1倍率的所述物体侧的光学系统的第1开口，使来自所述物体的光通过至所述摄像元件并配置于真空容器内；暖屏（warm stop），具有对应于具有第2倍率的所述物体侧的光学系统的第2开口，且是使来自所述物体的光向所述冷屏通过并配置于所述真空容器外的光圈构件；以及支撑构件，将所述暖屏能够出入地支撑于来自所述物体侧的光的光轴上；所述暖屏在所述摄像元件侧具有反射面，第2开口小于第1开口。

根据这样的显微观察用光学装置，在使用了设定为第1倍率的光学系统作为物体侧的光学系统的情况下，通过从光轴上取下暖屏，从而来自物体的光通过具有对应于该光学系统的NA的第1开口的冷屏而被缩小并入射至摄像元件，因此，降低了由摄像元件得到的检测像中的背景噪声。再有，在使用了设定为第2倍率的光学系统作为物体侧的光学系统的情况下，通过将具有对应于该光学系统的NA的第2开口的暖屏配置于光轴上，从而来自物体的光对应其光束而被缩小之后通过冷屏而入射至摄像元件。此处，第2开口小于第1开口，因此，即使将出入暖屏的支撑构件设置于真空容器的外侧，也能够对应于多个倍率的光学系统而降低背景噪声，因此，支撑构件的构造简单化。另外，该支撑构件设置于与光学系统的光轴相交的方向，因此，也容易地实现了支撑构件的小型化。其结果，对于多个观察倍率的光学系统可以降低的背景噪声并将物体的观察倍率切换为多个，并且能够容易地实现装置的小型化。

发明的效果

根据本发明，对于多个观察倍率的光学系统可以降低背景噪声，并且能够容易地实现装置的小型化。

附图说明

图1是本发明的优选的一个实施方式所涉及的显微装置的概略构成图。

图2是沿着中心轴线切断图1的显微观察用光学装置4而进行表示的立体图。

图3是沿着中心轴线切断图1的显微观察用光学装置4而进行表示的立体图。