[发明专利]等离子体光源

权利要求书

1.一种透明波导等离子体光源，具有：

·固态介电透明材料的制造件，具有密封中空，所述密封中空包含电磁波可激发的材料；

·法拉第罩：限定波导，至少部分透明，并且对于从其发出的光至少是部分透射的，具有不透明的壳，以及包封所述制造件；

·用于将激发电磁波的等离子体引入所述波导中的装置；

所述制造件、所述法拉第罩和所述装置被布置为使得在引入确定的频率的电磁波时，在所述中空中产生等离子体并且光经由所述法拉第罩发出，以及其中所述制造件包括：

·具有孔的透明波导主体，以及

·所述孔中的透明管，该管提供所述密封中空并且该管具有：第一密封端部和第二密封端部，以及在所述主体和所述管之间的、位于所述孔的一个孔口处的、所述管的第一密封端部处或附近的熔融件，

其中，所述中空至少延伸至所述主体和所述管之间的、所述孔的所述孔口处的所述熔融件，以及所述管在所述主体和所述管之间的熔融件处形成有隆起部，所述隆起部在所述主体的外部。

2.根据权利要求1所述的透明波导等离子体光源，其中：

·所述中空延伸超出所述熔融件和所述管的隆起部，和/或

·所述管的第二密封端部在所述孔内是自由的，和/或

·所述管在所述主体和所述管之间、在所述孔的另一孔口处具有第二熔融件，所述孔是通孔。

3.根据权利要求1或2所述的透明波导等离子体光源，其中：

·所述波导主体中的孔被穿孔和抛光成能利用滑动适配容纳所述管的内径，和/或

·环形间隙被设置在所述孔和所述管之间。

4.根据权利要求1或2所述的透明波导等离子体光源，其中，所述孔：

·被抽空，和/或

·被填充有惰性气体，和/或

·在至少一个端部开口。

5.根据权利要求1或2所述的透明波导等离子体光源，其中，所述透明波导主体和所述透明管由相同的或不同的材料制成。

6.根据权利要求1或2所述的透明波导等离子体光源，其中，所述透明波导主体和所述透明管中至少之一由石英制成。

7.根据权利要求1所述的透明波导等离子体光源，其中，所述电磁波为微波。

8.一种制造透明波导等离子体光源的方法，该方法包括以下步骤：

·提供具有孔的透明波导主体；

·密封透明管的一个端部；

·在所述管中一个位置处形成隆起部以相对于所述波导主体定位所述管；

·将所述透明管插入所述主体中的孔中；

·在所述孔的第一孔口处将所述管熔融至所述主体；

·利用可激发材料填充所述管；以及

·密封所述管的另一个端部以形成包含可激发材料的中空；

其中，所述中空至少延伸至所述主体和所述管之间、所述孔的孔口处的熔融件，所述隆起部在所述主体的外部。

9.根据权利要求8所述的制造透明波导等离子体光源的方法，其中，在将所述管插入所述孔中之前，密封所述管的至少一个端部。

10.根据权利要求8或9所述的制造透明波导等离子体光源的方法，还包括在所述孔的第二孔口处将所述管熔融至所述主体的步骤。

11.根据权利要求8或9所述的制造透明波导等离子体光源的方法，其中，在利用可激发材料填充所述管并密封所述管之前，所述透明管被插入所述孔中并在所述孔的至少第一孔口处熔融至所述波导主体。

12.根据权利要求8或9所述的制造透明波导等离子体光源的方法，其中，在利用可激发材料填充所述管并密封所述管之后，所述透明管被插入所述孔中并在所述孔的至少第一孔口处熔融至所述波导主体。

13.根据权利要求8或9所述的制造透明波导等离子体光源的方法，还包括以下步骤：

·将所述孔抽空，以及

·密封所述孔。

14.根据权利要求13所述的制造透明波导等离子体光源的方法，还包括在密封所述孔之前利用惰性气体填充所述孔的步骤。