[发明专利]形状检查方法、结构物的制造方法以及形状检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及形状检查方法、结构物的制造方法以及形状检查装置。更详细地，涉及针对具有微小的凹凸形状的膜、模具、特别是具有蛾眼（Moth－eye：蛾子的眼睛）结构的膜（以下仅称为“蛾眼膜”。）、形成该膜的模具等结构物的形状检查方法、该结构物的制造方法以及形状检查装置。

背景技术

作为具有凹凸形状的结构物，例如可列举具有微小的凹凸形状的膜、用于形成该膜的模具、转印版等，在光学部件、电子设备部件等中被有效利用。特别是在最近，作为具有微小的凹凸形状的膜的蛾眼膜作为发挥特殊的光学特性的光学部件受到关注。因此，作为具有凹凸形状的结构物，蛾眼膜和用于制造该蛾眼膜的模具等的重要性增加。蛾眼膜具有防反射效果，例如，能减少显示装置的表面反射。蛾眼膜通过在膜的表面没有间隙地排列比由防眩性（AG：Anti Glare）膜形成的凹凸图案更微细的可见光波长以下的间隔的凹凸图案，从而使外界（空气）和物体表面的边界的折射率的变化模拟地连续。通过使用这样的蛾眼膜，能与折射率界面无关地使光的大致全部透射，能大致消除该物体的表面的光反射。

对具有这样的微小的凹凸形状的结构物的检查手法进行研究，已知例如基于椭圆偏光仪的非破坏检查方法（例如，参照专利文献1。）。在该非破坏检查中按以下顺序进行，首先，预先利用椭圆偏光仪对各个厚度已知的多个标准样品进行测定，设定解析参数。接着，进行检查对象的基于椭圆偏光仪的测定，对所得到的数据应用解析参数，鉴定检查对象的凹凸形状的凹部的深度。然后，通过检查对象的凹部的深度和基于标准样品的凹部的基准值的比较进行合格与否的判定。

现有技术文献

专利文献

特许第4282500号说明书

发明内容

发明要解决的问题

在具有凹凸形状的结构物中，要求在1个结构物中均匀地形成凹凸形状，或者在多个结构物的制造中稳定地制造凹凸形状。因此，特别是在具有微小的凹凸形状的结构物的制造中，要求简便且精度高的检查手法。例如，以蛾眼膜、用于制造该蛾眼膜的模具作为检查对象的例子，对该检查对象事项和检查手法说明如下。蛾眼膜的加工质量由蛾眼的表面形状（相对于截面单位面积的Al₂O₃占有率）和深度参数决定。作为检查手法，可列举基于目视的检查，例如，在图28中，将检查对象101（蛾眼膜或者模具）设置在检查台102上，通过白色板（背光源用片）103，以入射角相对于检查对象大致处于垂直的方式照射从光源104照射的光。并且，检查者相对于检查对象从大致水平方向目视反射的光，确认色样。检查者一边观看具有上述参数的多个比较样品，一边评估检查对象是否处于多个比较样品的色样的范围内，进行合格与否的判定。关于判定为合格的检查对象，原样地取出。另一方面，对判定为不合适的检查对象，有时破坏检查对象的一部分，用扫描型电子显微镜(SEM：scanning electron microscope)观察截面，由此进行截面形状的解析。在难以判定合格与否的情况下，由熟练的检查者进行最终判定。

但是，在基于目视的色感的判定中，多数情况难以判定合格与否，且在进行了判定的情况下也不能进行深度、形状的确定，在有可能错误判定的方面有改善的余地。

另一方面，在上述的现有技术中的非破坏检查方法中，不进行检查者的目视判定，因此能排除外部环境的影响。但是，在该非破坏检查中，能进行检查对象的凹部的深度（覆膜厚度）的鉴定，但是在对凹部的底面形状、侧面形状（空缺部体积）鉴定非常困难的方面依然有改善的余地。

本发明是鉴于上述现状完成的，其目的在于提供能非破坏、精度良好地检查具有凹凸形状的检查对象的形状检查方法、结构物的制造方法以及形状检查装置。

用于解决问题的方案