[发明专利]一种操作具有电容变送器的绝对压力或相对压力传感器的方法

权利要求书

1.一种操作压力传感器的方法，

其中，所述压力传感器包括测量膜片，至少一个平台以及具有至少第一压力相关电容和第二压力相关电容的电容变送器，

其中所述测量膜片压力密闭地将体积分为第一体积部和第二体积部，其中所述第二体积部封闭在所述测量膜片和所述平台之间的测量腔内，

其中所述测量膜片的偏移取决于压力测量变量p，其为所述第一体积部内的第一压力p₁与所述测量腔内的所述第二体积部内的第二压力p₂之间的差，

其中在每种情况下，测量在所述测量膜片上的电极和具有基本上与压力不相关位置的对电极之间的第一电容和第二电容，

其中作为所述第一电容和所述第二电容的函数确定所述压力测量变量p的各自的当前值，

其中，对于处于热平衡的完好无损的压力传感器，所述第二电容表示为所述第一电容和在给定情况下的温度的预定函数，

其中所述方法具有如下步骤：

记录所述第一电容和所述第二电容的值对，

测试所述第一电容和所述第二电容的记录值对是否实际在预定容限范围内符合所述预定函数的关系，并且

当在比时间极限值持续更长的时间段中不符合时，确定所述传感器的变化和/或损坏。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述时间极限值为预定极限值，特别是时间常数，或者所述时间常数的倍数，其描述了所述压力传感器在温度跳变后达到平衡状态。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述时间极限值为所述第一电容和所述第二电容的值从所述函数关系的偏离的函数。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述时间常数为所述偏离的单调递减函数。

5.根据前述任意一个权利要求所述的方法，其中完好无损的传感器具有第一完好无损操作状态和至少一个第二完好无损操作状态，

其中，对于处于热平衡的所述第一操作状态中的完好无损的压力传感器，所述第二电容可表示为所述第一电容以及给定情况下的温度的第一预定函数，

其中，对于处于热平衡的所述第二操作状态中的完好无损的压力传感器，所述第二电容可表示为所述第一电容以及给定情况下的温度的第二预定函数，

其中所述方法包括：

测试所述第一电容和所述第二电容的记录值是否实际上在预定容限范围内的符合所述预定函数之一的关系，并且

如果符合，基于传递函数确定所述压力测量变量，所述传递函数与所述操作状态相关，所述操作状态与预定函数相对应，第一和第二电容的记录值满足所述预定函数关系，并且

如果在比时间极限值持续更长的时间段中不符合，确定所述传感器的损坏。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述压力传感器不可逆地从所述第一完好无损操作状态转换到所述第二完好无损操作状态。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述方法包括如下步骤：

检查所述传感器是否处于所述第一操作状态，并且当所述传感器不处于所述第一操作状态时，

检查所述传感器是否处于所述第二操作状态；

并且如果在比时间极限值持续更长的时间段中所述传感器不处于所述第二操作状态，

确定所述传感器已经被损坏。

8.根据前述任意一个权利要求所述的方法，其中所述电容变送器包括差动电容器，所述差动电容器至少包括其第一电容具有第一传递函数的第一电容器，以及其第二电容具有第二传递函数的第二电容器，其中所述传递函数在各自的压力相关度上不同。

9.根据权利要求8所述的方法，其中当所述压力测量变量具有零值时，两个电容相等。

10.根据权利要求8或9所述的方法，其中所述差动电容器包括圆盘形测量电极和环形参考电极，特别是电容相等的环形参考电极，所述环形参考电极环绕所述测量电极，其中所述测量电极和所述参考电极特别布置在面向所述测量膜片的平台面上，其中所述测量膜片具有圆盘形膜片电极，其优选至少延伸到所述环形参考电极的外边缘。