[发明专利]提供有机抗蚀剂与铜或铜合金表面的粘附的方法

权利要求书

1.提高有机抗蚀剂材料在铜或铜合金表面上的粘附的方法，所述方法包括以下步骤：

a．提供具有铜或铜合金表面的基底，

b．使所述表面接触水性粘附增强溶液，所述水性粘附增强溶液包含：

i．至少一种有机酸，其选自羧酸、羟基羧酸、氨基羧酸和磺酸，和

ii．过氧化物化合物，

其中所述至少一种有机酸的浓度，或在多于一种有机酸的情况下所有有机酸的总浓度，是0.005至0.04摩尔/L，

其中所述磺酸的浓度为0.005至0.008摩尔/L，

其中所述水性粘附增强溶液的pH值为1.8至5，

其中所述水性粘附增强溶液不含N-杂环化合物，

其中所述水性粘附增强溶液不含无机酸，

从而在铜或铜合金表面之上形成一种或多种氧化铜相的层，

和

c．使有机抗蚀剂材料附着至所述一种或多种氧化铜相的层上，

其中所述一种或多种氧化铜相的层的厚度为5至300nm，并且与下面的铜或铜合金层相比，所述一种或多种氧化铜相的层的RSAI值>50%，并且R_a值<150nm，所述值是用原子力显微镜确定的，并且在步骤b中移除最多0.1μm的铜或铜合金。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述羧酸为链烷羧酸。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述氨基羧酸选自6-氨基己酸、甘氨酸和半胱氨酸。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述磺酸选自链烷磺酸和芳族磺酸。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的方法，其中所述水性粘附增强溶液中的过氧化物化合物的浓度为0.01至2.5摩尔/L。

6.根据权利要求1至4中的任一项所述的方法，其中所述过氧化物化合物为过氧化氢。

7.根据权利要求1至4中的任一项所述的方法，其中所述水性粘附增强溶液还包含如下的水溶性聚合物，其选自聚乙二醇、聚丙二醇和上述聚合物的共聚物。

8.根据权利要求1至4中的任一项所述的方法，其中所述水性粘附增强溶液还包含尿素或尿素衍生物。

9.根据权利要求1至4中的任一项所述的方法，其中所述一种或多种氧化铜相的层的厚度为10至60nm。

10.根据权利要求1至4中的任一项所述的方法，其中在步骤b中所述水性粘附增强溶液的温度为20至50℃。

11.根据权利要求1至4中的任一项所述的方法，其中在步骤b中所述基底与所述水性粘附增强溶液的接触时间为至少5秒。

12.根据权利要求1至4中的任一项所述的方法，其中通过喷雾使所述基底与所述水性粘附增强溶液接触。