[发明专利]层叠体和层叠体的制造方法

权利要求书

1.一种层叠体，其特征在于，具备具有绝缘性的陶瓷基材、形成于所述陶瓷基材的表面的中间层、以及在所述中间层的表面形成的金属被膜层，

所述中间层以金属或合金为主成分，

所述金属被膜层通过使包含金属或合金的粉末与气体一起加速、并且以固相状态直接喷射并堆积于所述中间层的表面而形成。

2.根据权利要求1所述的层叠体，其特征在于，所述中间层通过将板状的金属或合金部件钎焊在所述陶瓷基材上而形成。

3.根据权利要求1或2所述的层叠体，其特征在于，所述陶瓷基材包含氮化物系陶瓷。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的层叠体，其特征在于，所述中间层至少包含以铝为主成分的层。

5.根据权利要求4所述的层叠体，其特征在于，所述中间层含有选自由锗、镁、硅、铜中的任意金属组成的组中的至少一种金属。

6.根据权利要求5所述的层叠体，其特征在于，所述中间层还包含以银、镍、金、铜中的任意金属为主成分的层。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的层叠体，其特征在于，所述金属被膜层包含铜或铝。

8.一种层叠体的制造方法，其特征在于，包括：

中间层形成工序，在具有绝缘性的陶瓷基材的表面形成以金属或合金为主成分的中间层；以及

被膜形成工序，在所述中间层的表面形成金属被膜层，所述金属被膜层通过使包含金属或合金的粉末与气体一起加速、并且以固相状态直接喷射并堆积于所述中间层的表面而形成。

9.根据权利要求8所述的层叠体的制造方法，其特征在于，所述中间层形成工序包括：

钎料配置工序，在所述陶瓷基材的表面配置铝钎料；

金属部件配置工序，在所述铝钎料上配置板状的金属或合金部件；

热处理工序，对依次配置有所述铝钎料、和所述金属或合金部件的所述陶瓷基材进行热处理。

10.根据权利要求9所述的层叠体的制造方法，其特征在于，所述钎料配置工序包括以下工序中的任一工序：

钎料糊剂在所述陶瓷基材上的涂布、

钎料箔在所述陶瓷基材上的载置、和

利用蒸镀法或溅射法而实施的钎料在所述陶瓷基材上的附着。

11.根据权利要求9或10所述的层叠体的制造方法，其特征在于，所述热处理工序在真空中或不活泼气体气氛中进行。

12.根据权利要求11所述的层叠体的制造方法，其特征在于，所述铝钎料含有选自由锗、镁、硅、铜中的任意金属组成的组中的至少一种金属。

13.根据权利要求9～12中任一项所述的层叠体的制造方法，其特征在于，所述金属或合金部件的厚度为1mm以下。