[发明专利]固体加工阀

权利要求书

1.一种用于制备硅产物的流化床反应器，所述流化床反应器包括：

限定反应室的壳体；

由所述壳体限定的颗粒入口，以允许晶种颗粒进入所述反应室；

由所述壳体限定的气体入口，以允许含硅加工气体进入所述反应室；

加热装置，所述加热装置用于加热所述反应室，以分解所述含硅加工气体，从而使硅在所述晶种颗粒上生长以制备所述硅产物；

由所述壳体限定的排放出口，以允许所述硅产物离开所述反应室；以及

圆顶阀，所述圆顶阀联接到所述壳体，用于选择性地分配来自所述流化床反应器的所述硅产物，所述圆顶阀包括：

限定直通通道的阀本体，所述直通通道与所述反应室连通，以允许所述硅产物离开所述流化床反应器；

在所述直通通道内联接到所述阀本体的阀座，其中所述阀座限定开口，所述硅产物通过所述开口进入所述直通通道；

圆顶本体，所述圆顶本体具有半-半球构型并且可旋转地设置在所述直通通道内，其中所述圆顶本体具有密封表面以及与所述密封表面间隔开的内表面；

其中所述圆顶本体能够在所述直通通道内在闭合位置和打开位置之间旋转，其中所述圆顶本体的所述密封表面在所述闭合位置接合所述阀座，以形成所述直通通道的主密封，从而防止所述硅产物从所述流化床反应器选择性地分配，并且其中由所述阀座限定的所述开口至少部分地不被处于所述打开位置的所述圆顶本体的所述密封表面阻挡，以允许选择性地分配来自所述流化床反应器的所述硅产物。

2.根据权利要求1所述的流化床反应器，其中所述圆顶本体具有多个预定打开位置，其中所述圆顶本体的每个所述预定打开位置产生不同尺寸的所述开口，从而控制对来自所述流化床反应器的所述硅产物的选择性分配的速率。

3.根据前述权利要求中任一项所述的流化床反应器，其中所述圆顶阀还包括可膨胀密封件，所述可膨胀密封件可膨胀以接合所述圆顶本体的所述密封表面，以便密封所述直通通道，从而防止所述含硅加工气体离开所述流化床反应器。

4.根据权利要求3所述的流化床反应器，其中当所述圆顶本体处于所述闭合位置并且所述可膨胀密封件接合所述圆顶本体的所述密封表面时，所述圆顶阀提供所述直通通道的VI类密封。

5.根据权利要求3所述的流化床反应器，还包括联接到所述阀本体的密封保持板，其中所述可膨胀密封件从所述密封保持板可膨胀。

6.根据权利要求5所述的流化床反应器，其中所述密封保持板限定至少一个通道，所述至少一个通道接收使所述可膨胀密封件扩张为接合所述圆顶本体的所述密封表面的气体。

7.根据权利要求6所述的流化床反应器，其中所述气体是选自氩气、氦气、氢气和氮气的组的惰性气体。

8.根据前述权利要求中任一项所述的流化床反应器，其中所述阀座包含具有约83.5至94.2的洛氏A级硬度的材料。

9.根据前述权利要求中任一项所述的流化床反应器，其中所述阀座的所述材料选自硅、烧结硬质合金以及它们的组合的组。

10.根据前述权利要求中任一项所述的流化床反应器，其中所述圆顶阀还包括在所述直通通道内联接到所述阀本体的阀座保持环，其中所述阀座的所述材料与所述阀座保持环压合，以将所述阀座在所述直通通道内联接到所述阀本体。

11.根据前述权利要求中任一项所述的流化床反应器，其中所述圆顶本体包含选自硅、烧结硬质合金以及它们的组合的组的无污染材料。

12.根据前述权利要求中任一项所述的流化床反应器，其中所述阀座相对于所述圆顶本体可调节，以确保所述阀座接合所述圆顶本体的所述密封表面。

13.根据前述权利要求中任一项所述的流化床反应器，其中限定所述直通通道的所述阀本体包含选自硅、烧结硬质合金以及它们的组合的组的无污染材料。

14.根据前述权利要求中任一项所述的流化床反应器，其中所述阀座、所述圆顶本体以及限定所述直通通道的所述阀本体中的每一个均包含用于防止所述硅产物受到污染的硅材料。