[发明专利]检漏装置和用于借助检漏装置来检验对象密封性的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种检漏装置以及一种用于借助于检漏装置来检验对象密封性的方法。

背景技术

已知的逆流检漏装置，如例如在EP 1 585 951中所描述的那样，使用涡轮分子泵来检漏。待测试的对象或者在其中设置有待测试的对象的测试室经由测试气体管路与预真空泵连接。此外，测试气体管路与涡轮分子泵的两个或更多个中间入口连接。此外，预真空泵与涡轮分子泵的出口连接。在涡轮分子泵的入口处设置有测试气体检测器、特别是设置在通过涡轮分子泵抽真空的室中。由此能够使用测试气体检测器，所述测试气体检测器具有非常高的敏感度。对特别是氦气的测试气体的检测通过如下方式进行，即测试气体能够逆着涡轮分子泵的主流动方向在涡轮分子泵内部向其入口流动并且通过测试气体检测器来检测。

在EP 1 585 951中，用于粗检对象的测试气体管路与涡轮分子泵的出口区域连接。由于测试气体管路与涡轮分子泵的出口区域连接，所以测试气体的逆流路径或者回流路径在涡轮分子泵内部比较长。在测试气体管路中以及在测试室或者待测试的对象中的压力较低时，才能够进行测试气体管路与涡轮分子泵的中间区域的连接，以至于逆流路径缩短。当测试气体管路中的压力在不考虑小偏差情况下对应于涡轮分子泵的中间区域中的压力时，测试气体才可以进入涡轮分子泵的中间区域。测试气体管路与另一个中间入口的连接（通过该连接进一步缩短逆流路径）因此在后续的时刻即当实现对检验压力的进一步下降时才又是可能的。由于特别是在开始检验时对象的逆流路径或者回流路径长，所以检验时间和响应时间较长。

发明内容

本发明的目的在于，提出一种检漏装置以及一种用于检验对象密封性的相应的方法，通过所述捡漏装置能够降减小检验时间。

根据本发明通过具有权利要求1的特征的检漏装置或者通过根据权利要求7所述的用于借助于检漏装置来检验对象密封性的方法来实现所述目的的解决。

根据本发明的检漏装置具有测试室，在所述测试室中设置有待测试的对象。可替选地，也可直接测试对象。抽真空泵装置与测试室或者对象连接用于抽真空。抽真空泵装置具有预真空泵，以至于测试室或者对象能够被抽真空直至到低的压力。在测试室或待检验的对象中，在此情况下实现如下压力，所述压力对应于背景信号到泄漏值的至少一个单倍的距离。测试气体管路与抽真空泵装置无关地与测试室或者对象连接。可替选地，该测试气体管路也能够与设置在测试室或对象与抽真空泵装置之间的管路连接，使得不必使两个管路与测试室连接。这特别是在与对象的直接连接的情况下是有利的，因为此后仅一个管路必须与对象连接，所述管路随后分支为通向抽真空泵装置的管路和测试气体管路。

测试气体管路与测试气体泵装置的中间入口连接。测试气体泵装置在特别优选的实施形式中是涡轮分子泵必要时与Hohlweck级连接。在这里，为了实现低压力，涡轮分子泵或者Hohlweck-级的出口与预真空泵连接。测试气体检测器与测试气体泵装置的主入口，也就是说，特别是与涡轮分子泵的主入口连接。对测试气体的检测按逆流原理进行。这意味着，测试气体一方面通过中间入口流入并且沿主输送路径的方向向测试气体泵装置的出口输送。测试气体的小部分逆着主输送方向沿着逆流路径从中间入口流向主入口，并且因此能够被测试气体检测器检测。

根据本发明，在测试气体管路中设置有具有测试气体室的阀装置。因此可能的是，来自于测试室或对象的测试气体被缓存在测试气体室中。被缓存的测试气体随后经由中间入口被输送给测试气体泵装置，并且沿着逆流路径流向测试气体检测器。本发明的主要优点在于，测试气体泵装置与抽真空泵装置无关地运行。因此可能的是，在测试气体泵装置中已实现相对低的压力，而在测试室本身中尚无相应的低压力必须处于主导。由于可在测试气体泵装置的区域中实现的低压力，可能的是，将测试气体泵装置的中间入口设置在主入口附近，使得逆流路径是短的。这引起检验时间显著地减小。显著减小尤其由于与测试室或者对象的体积相比在测试气体室中显著更小的体积而是可能的。处于测试气体室中的测试气体因此可以具有与测试气体泵装置中的压力相比明显更高的压力，而不会由此妨碍测试气体泵装置的功能性、特别是涡轮分子泵的功能性。情况如此是因为只有少量测试气体经由中间入口被输送给测试气体泵装置。