[发明专利]太阳能电池和其生产方法有效
申请号: | 201280035113.4 | 申请日: | 2012-06-26 |
公开(公告)号: | CN103765601A | 公开(公告)日: | 2014-04-30 |
发明(设计)人: | A·斯捷科利尼科夫;R·塞甘;M·科允塔普;M·舍夫;彼得·恩格尔哈特;M·海曼;T·巴特尔;M·特雷格 | 申请(专利权)人: | 汉华Q电池有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/068;H01L31/18 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 陈酩;翟羽 |
地址: | 德国比特菲尔*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能电池 生产 方法 | ||
1.太阳能电池(1、31),其包含半导体晶片(3、33),布置在半导体晶片(3、33)上的至少一个介电层(5、35),布置在该介电层上的金属层(7、37),以及布置在介电层(5、35)中的接触结构,使得该接触结构提供在金属层(7、37)和半导体晶片(3、33)之间的电连接,其中该接触结构带有至少一个具最小维度的第一结构(9a、39a)和至少一个具最大维度的第二结构(9b、39b),其中该最小维度和该最大维度沿着半导体晶片(3、33)的表面被限定,而第一结构(9a、39a)的最小维度大于第二结构(9b、39b)的最大维度。
2.如权利要求1所述的太阳能电池(1、31),其特征在于第一结构(9a、39a)的最小维度以毫米为单位范围,而第二结构(9b、39b)的最大维度则以微米为单位范围。
3.如权利要求2所述的太阳能电池(1、31),其特征在于该毫米范围包含0.1至10mm,而该微米范围包含10至70μm。
4.如前述权利要求中任一项所述的太阳能电池(1、31),其特征在于第一结构(9a、39a)包含铝-硅低共晶和/或第二结构(9b、39b)包含硅-金属触点或激光烧制触点(LFC)。
5.如前述权利要求中任一项所述的太阳能电池(1、31),其特征在于第一结构(9a、39a)的形状呈条状。
6.如前述权利要求中任一项所述的太阳能电池(1、31),其特征在于第二结构(9b、39b)的形状呈点状。
7.如前述权利要求中任一项所述的太阳能电池(1),其特征在于在金属层(7)背对该半导体晶片的表面上,在平面图中与第一结构(9a)重叠的区域中布置连接器(11)。
8.如权利要求4所述的太阳能电池,其特征在于第一结构(39a)包含铝-硅低共晶,而其直接以接触式连接至连接器(311)。
9.生产太阳能电池的方法,其包含以下方法步骤:
-提供半导体晶片(3、33),其具有至少一个介电层(5、35),
-在介电层(5、35)上形成金属层(7、37),并在介电层(5、35)中布置接触结构,使得该接触结构提供在金属层(7、37)和半导体晶片(3、33)之间的电连接,其中至少一个带有最小维度的第一结构(9a、39a)和至少一个带有最大维度的第二结构(9b、39b)作为接触结构而形成,使得第一结构(9a、39a)的最小维度大于第二结构(9b、39b)的最大维度。
10.如权利要求9所述的太阳能电池生产方法,其特征在于形成金属层(7)和该接触结构包含以下方法步骤:
-对介电层(5)施加至少一层相对于介电层(5)属惰性的金属膏(13),和至少一层相对于介电层(5)属活性的金属膏(15),使得相对于介电层(5)属活性的金属膏(15)在相对于介电层(5)属惰性的金属膏(13)中形成至少一个第一区域和/或至少一个第二区域;以及
-进行烧制,使得相对于介电层(5)属活性、形成该第一和/或第二区域的金属膏(15)穿过介电层(5)并形成第一结构(9a)和/或第二结构(9b)。
11.如权利要求9或10所述的太阳能电池生产方法,其特征在于形成该金属层和该接触结构包含以下方法步骤:
-在该介电层中形成适合用于产生该第一结构的至少一个第一孔和/或适合用于产生该第二结构的至少一个第二孔;以及
-以金属膏填充该至少一个第一孔和/或至少一个第二孔并涂覆该介电层;以及
-进行烧制。
12.如权利要求11所述的生产方法,其特征在于该至少一个第一孔和/或该至少一个第二孔是通过激光烧蚀的方式形成的。
13.如前述权利要求中任一项所述的生产方法,其特征在于
-通过LFC(激光烧制触点)的方式产生该第二结构。
14.如前述权利要求中任一项所述的生产方法,其特征在于在金属层(7)背对该半导体晶片的表面上,在平面图中与第一结构(9a)重叠的至少一个区域中施加至少一个连接器(11)。
15.如前述权利要求中任一项所述的生产方法,其特征在于将在至少一个第一结构(39a)中的铝-硅低共晶露出,以及将在第一结构(39a)中的铝-硅低共晶超声波冷焊至相应的连接器(311)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的