[发明专利]光学部件及其制备方法

权利要求书

1.光学部件的制备方法，包括：

在基材上形成减反射膜，其中

形成该减反射膜包括：

涂布在分散介质中分散有颗粒的液体，然后涂布含有形成粘结剂所必需的成分的溶液以形成用该粘结剂将该颗粒之间的间隙填充的层；和

将该层干燥。

2.根据权利要求1的光学部件的制备方法，其中形成粘结剂所必需的成分是烷氧基硅烷水解缩合产物。

3.根据权利要求1或2的光学部件的制备方法，其中通过旋转涂布来进行在分散介质中分散有颗粒的液体的涂布和含有形成粘结剂所必需的成分的溶液的涂布。

4.根据权利要求1-3的任一项的光学部件的制备方法，其中该分散介质含有1-甲氧基-2-丙醇、甲基溶纤剂、乙基溶纤剂和丁基溶纤剂中的任一个。

5.根据权利要求1-4的任一项的光学部件的制备方法，其中该颗粒是含有二氧化硅的中空颗粒。

6.根据权利要求1-5的任一项的光学部件的制备方法，其中形成该减反射膜还包括形成该粘结剂位于该颗粒之间的层以外的其他层。

7.根据权利要求6的光学部件的制备方法，其中通过氧化锆、氧化钛、氧化钽、氧化铌、氧化铪、氧化铝、二氧化硅或氟化镁的沉积来进行形成其他层。

8.光学部件，包括在基材上形成的减反射膜，其中

该减反射膜具有在与该基材表面平行的方向上排列的多重层叠的颗粒形成的层；并且

用粘结剂将该层中该颗粒之间的间隙填充。

9.根据权利要求8的光学部件，其中该层以0.8-0.88的二维密度包括该颗粒。

10.根据权利要求8或9的光学部件，其中该粘结剂具有空隙，并且该空隙与该层的体积比为5体积%-25体积%。

11.根据权利要求8-10的任一项的光学部件，其中该颗粒是含有二氧化硅的中空颗粒。

12.根据权利要求11的光学部件，其中该层具有厚度d：

[数学式1]

25·2a+a·n·83≤d≤45·2a+a·n·83]]>（式1）

其中，a表示该中空颗粒的平均颗粒半径；和n表示正整数。

13.根据权利要求11或12的光学部件，其中该层具有60nm-200nm的厚度。

14.根据权利要求11-13的任一项的光学部件，其中该中空颗粒具有15nm-100nm的平均颗粒直径。

15.根据权利要求12-14的任一项的光学部件，其中该中空颗粒各自有具有平均颗粒直径的10%-50%的厚度的壳。

16.根据权利要求8-15的任一项的光学部件，其中该减反射膜还包括单层或多层。