[发明专利]等离子体处理相关的软件应用程序的数据体系结构和用户界面

说明书

背景技术

采用等离子体增强处理（比如等离子体增强蚀刻和等离子体增强沉积）将衬底（例如，硅晶片、平板）处理成电子产品（比如集成电路或平板显示器或液晶显示器）已有很长时间。利用等离子体增强技术处理衬底是高度复杂的且往往需要高技能人才来操作复杂的等离子体设备。利用能够控制、监控、分析和/或响应在等离子体处理室中发生的事件的软件应用程序，等离子体增强处理的复杂性可能有所减轻。

但是，由于现代高器件密度的等离子体处理技术的复杂性，在给定的批量衬底的等离子体处理中往往涉及大量的数据和高度复杂的软件应用程序阵列。例如，不同的软件应用程序可被用于控制晶片加工进度（wafer movement）、开始/停止等离子体、从具体的配方产生具体类型的等离子体、控制各种旋钮以根据给定配方实现处理、监控室的健康、分析吞吐量、生成警报，等等。

随着等离子体处理需求朝着不断缩小的器件的生产发展，即使是技能最好的人类操作员，面对复杂的多室等离子体处理集群的操作和维护中所牵涉的大量千变万化的软件应用程序，也会不知所措。这部分是因为这些软件应用程序中的每一个均可提供大量的功能或能力集，这些功能或能力只有在大量的培训和接触具体软件应用程序的功能/能力之后才易于和/或能够在生产中使用。

进一步地，即使一人掌握一个具体的软件应用程序，不同软件应用程序的对衬底的等离子体处理而言必需的功能和能力也会涉及使用不同的用户界面外观/感受或者导航步骤、呈现数据的不同方式、人类操作员获取给定操作所需的数据的不同方法，等等。由于人类操作 员必须学习每个独立的与等离子体处理相关的软件（PPRS）应用程序的独特的用户界面导航或外观/感受且必须熟悉每个PPRS应用程序的不同的数据获取步骤，所以在人类操作员能够用高效操作现代等离子体处理机器所必需的软件应用程序的必要套件进行生产之前通常需要大量的培训。

基于持续的进步，如果套件中的任何给定的软件应用程序的功能集或能力由于例如版本更新而改变，则会需要人类操作员为更新过的软件应用程序重新学习新的用户界面和/或数据获取步骤。对一些人类操作员而言，复杂性成为压倒性的且没有动机去学习新的PPRS应用程序或者去对现有PPRS应用程序做比执行生产衬底所需要的最低配置所绝对必要的钻研更深的钻研。所以，当前的PPRS应用程序的复杂性阻碍了人类操作员了解每个PPRS应用程序所提供的丰富的功能集的全部潜能。

附图说明

在附图中，通过实施例的方式而非通过限制的方式对本发明进行说明且其中，类似的附图标记指代类似的元素，且其中：

图1根据本发明的实施方式示出了四层的概念图，其包括示例性的创造性PPRS架构。

图2是应用程序的示例性屏幕截图，其中示出了模块和视图的各种实例。

图3示出了具有某些通用语境数据字段和特定语境数据字段的数据加载（Load Data）面板的实施例。

图4示出了具有因特定语境数据的差异而与图3的特定语境数据字段不同的特定语境数据字段的数据加载（Load Data）面板的另一实施例。

具体实施方式

现在将参考附图中所示的本发明的一些实施方式对本发明进行详细描述。在下面的描述中，许多具体细节被阐述以便提供对本发明的透彻理解。但对本领域技术人员而言，明显的是，本发明可在没有这些具体细节中的一些或全部的情况下被实施。另一方面，公知的工艺步骤和/或结构不会被详细描述以免不必要地模糊本发明。

下面描述各种实施方式，包括方法和技术。应当了解，本发明也可涵盖包括存储了用于执行本发明的实施方式的计算机可读指令的计算机可读介质的制造物件。计算机可读介质可包括例如用于存储计算机可读代码的半导体的、磁的、光磁的、光学的或其它形式的计算机可读介质。进一步地，本发明还可涵盖用于实施本发明的实施方式的装置。这样的装置可包括专用和/或可编程电路以执行与本发明的实施方式有关的任务。这样的装置的示例包括通用计算机和/或被适当编程的专用计算设备且可包括适用于与本发明的实施方式有关的各种任务的计算机/计算设备和专用/可编程电路的组合。