[发明专利]热补偿的阵列波导光栅组件

权利要求书

1.一种平面光波导器件，包括：

组合的信号波导；

一组分散的信号波导；

第一平板波导；

光学地连接至所述第一平板波导的第一反射镜；

支撑所述第一反射镜的反射镜组件；

波导阵列；以及

第二平板波导，

其中，所述波导阵列光学地连接所述第一平板波导与所述第二平板波导，以提供阵列波导光栅，其中，所述组合的信号波导或者该组分散的信号波导在入口边缘处光学地连接至所述第一平板波导，并且该组合的信号波导或者该组分散的信号波导二者中的另一个光学地连接至所述第二平板波导，其中，阵列边缘将波导阵列与所述组合的信号波导或该组分散的信号波导的合适元件连接起来，通过提供从第一反射镜至阵列边缘的光学反射，对从入口边缘穿过所述第一平板波导的光路进行折叠，其中，从所述第一反射镜反射的结构的反射角度不超过大约80度，并且相比于从所述波导阵列至所述反射镜的光路距离，从入口边缘至所述反射镜的光路距离的比率为大约0.5至2，并且其中，所述第一反射镜组件包括致动器，所述致动器响应于温度变化而使所述第一反射镜枢转，以改变所述反射角度，从而在选择的温度范围内，有效地为穿过所述波导阵列的光的传输提供热补偿。

2.如权利要求1所述的平面光波导器件，其中，所述第一反射镜绕布置在所述反射镜组件中的枢转点而枢转。

3.如权利要求1或2所述的平面光波导器件，其中，所述反射镜组件包括，固定至所述第一反射镜的底座、固定至所述底座的具有第一热膨胀系数的第一致动器、以及固定至所述底座的具有第二热膨胀系数的第二致动器，其中，响应于温度变化，所述第一和第二致动器之间的长度变化不同，使所述底座移动而改变所述角度。

4.如权利要求1-2中任一项所述的平面光波导器件，其中，所述阵列波导光栅安装在基底上，所述反射镜组件安装在所述基底上，并且所述致动器附接至所述基底，从而所述致动器的长度变化使所述基底或所述基底的一部分运动，并且使所述反射镜组件枢转，以提供有效的光传输热补偿。

5.如权利要求1-2中任一项所述的平面光波导器件，其中，所述反射镜组件包括：

第一致动器，按照第一热膨胀系数膨胀，以枢转所述反射镜或其它反射表面，从而在高于参考值的第一连续温度范围内，为穿过所述阵列波导光栅的光的传输提供有效的热补偿；以及

第二致动器，按照第一热膨胀系数收缩，以枢转所述反射镜或其它反射表面，从而在低于参考值的第二连续温度范围内，为穿过所述阵列波导光栅的光的传输提供有效的热补偿。

6.如权利要求5所述的平面光波导器件，其中，所述阵列波导光栅安装在基底上，所述反射镜组件安装在所述基底上，并且所述第一致动器和第二致动器安装在所述基底上。

7.如权利要求1-6中任一项所述的平面光波导器件，其中，所述波导在单个的整体式的元件中，所述元件包括光学玻璃和所述反射镜组件，或者多个所述反射镜组件通过连接支柱而固定至所述整体式的元件。

8.如权利要求1-7中任一项所述的平面光波导器件，其中，所述反射角度在从大约3度至大约70度的范围内。

9.如权利要求1-8中任一项所述的平面光波导器件，其中，相比于从所述波导阵列至所述反射镜的光路距离，从所述入口边缘至所述反射镜的光路距离的比率在大约0.75至大约1.5的范围内。

10.如权利要求1-9中任一项所述的平面光波导器件，其中，所述组合的信号波导在所述入口边缘处光学地连接至所述第一平板波导。

11.如权利要求1-10中任一项所述的平面光波导器件，其中，所述分散的信号波导在所述入口边缘处光学地连接至所述第一平板波导。

12.如权利要求1-11中任一项所述的平面光波导器件，其中，所述第二平板波导包括可运动的第二反射镜，并且所述第一反射镜和第二反射镜的热响应运动共同地提供穿过所述平面光波导器件的光的传输的热补偿。