[发明专利]用于改良的浸透性能的具有涂层的基板支撑边缘环

权利要求书

1.一种基板支撑环，包括：

环状主体，包括：

外条带，所述外条带从外环状侧壁径向向内延伸；以及

基板支撑区域，所述基板支撑区域从所述外条带的内侧部分向内延伸，其中所述环状主体包括暴露的第一材料，且所述基板支撑区域的至少一部分被涂层覆盖，所述涂层包括不同于所述第一材料的第二材料。

2.如权利要求1所述的环，其中所述第一材料包括碳化硅。

3.如权利要求2所述的环，其中所述第二材料包括耐火材料。

4.如权利要求3所述的环，其中所述耐火材料选自由陶瓷材料、蓝宝石以及碳材料构成的组。

5.如权利要求3所述的环，其中所述耐火材料选自由氧化物膜、氮化物膜和上述膜的组合构成的组。

6.如权利要求5所述的环，其中所述耐火材料选自由氧化铝（Al₂O₃）、氧化铍（BeO）、二氧化锆（ZrO₂）、氧化铪（HfO₂）、氧化钇（Y₂O₃）、氧化钍（ThO₂）、氧化钪（Sc₂O₃）、稀土氧化物、氮化锆（ZrN）、氮化铪（HfN）和上述材料的组合构成的组。

7.如权利要求1所述的环，其中所述外条带包括硅膜，所述硅膜选自由非晶硅、单晶硅和多晶硅构成的组。

8.如权利要求7所述的环，其中所述硅膜包括第一硅层、氧化物层以及配置于所述氧化物层上的第二硅层。

9.一种基板支撑环，包括：

环状主体，所述环状主体包括陶瓷材料，所述环状主体包括：

第一环状侧壁；

外条带，所述外条带从所述第一环状侧壁径向向外延伸；

第二环状侧壁，所述第二环状侧壁耦接至所述外条带；以及

内唇部，所述内唇部从所述第一环状侧壁径向向内延伸，所述内唇部包括基板支撑区域，其中所述基板支撑区域由包括耐火材料的膜构成。

10.如权利要求9所述的环，其中所述耐火材料选自由陶瓷材料、蓝宝石以及碳材料构成的组。

11.如权利要求10所述的环，其中所述耐火材料选自由氧化铝（Al₂O₃）、氧化铍（BeO）、二氧化锆（ZrO₂）、氧化钇（Y₂O₃）和上述材料的组合构成的组。

12.如权利要求10所述的环，其中所述耐火材料包括莫氏硬度表（Mohs scale）上7或更大的硬度。

13.如权利要求9所述的环，其中所述硅膜包括选自由非晶硅、单晶硅和多晶硅构成的组的膜。

14.如权利要求9所述的环，其中所述硅膜包括第一硅层、氧化物层以及配置于所述氧化物层上的第二硅层。

15.如权利要求9所述的环，其中所述环状主体包括下表面，所述下表面具有配置于所述下表面上的膜。