[发明专利]光敏树脂组合物及其固化产物在审
| 申请号： | 201280037959.1 | 申请日： | 2012-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN103718108A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 大西美彩都;稻垣真也;今泉尚子;本田那央 | 申请（专利权）人： | 日本化药株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;C08G59/42;G03F7/004 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 王海川;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光敏 树脂 组合 及其 固化 产物 | ||
1.一种碱显影型光敏树脂组合物，其包含：
多羧酸树脂(A)，其通过使在两末端具有环氧基并且环氧当量为600g/当量～1,300g/当量的双官能双酚环氧树脂(a)和具有醇羟基的一元羧酸化合物(b)的反应产物(ab)与多元酸酐(c)反应而得到；
在一个分子中具有两个以上环氧基的环氧树脂(B)；以及
光酸产生剂(C)，
其中所述一元羧酸化合物(b)对所述环氧树脂(a)的1当量环氧基的加成率为80当量%以上；并且所述多元酸酐对所述反应产物(ab)的1当量伯羟基的加成率为80当量%以上。
2.根据权利要求1所述的碱显影型光敏树脂组合物，其中所述环氧树脂(a)为双酚A型或F型。
3.根据权利要求1或2所述的碱显影型光敏树脂组合物，其中所述一元羧酸化合物(b)为二羟甲基丙酸或二羟甲基丁酸。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的碱显影型光敏树脂组合物，其中所述多元酸酐(c)为选自邻苯二甲酸酐、琥珀酸酐、四氢邻苯二甲酸酐、六氢邻苯二甲酸酐和马来酸酐的一种或两种以上。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的碱显影型光敏树脂组合物，其中所述多羧酸树脂(A)的固体成分酸值为90mg KOH/g至105mg KOH/g。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的碱显影型光敏树脂组合物，其中所述环氧树脂(B)为在两末端具有环氧基的双官能环氧树脂。
7.一种干膜抗蚀剂，包含权利要求1至6中任一项所述的碱显影型光敏树脂组合物。
8.权利要求1至6中任一项所述的碱显影型光敏树脂组合物或权利要求7所述的干膜抗蚀剂的固化产物。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本化药株式会社，未经日本化药株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201280037959.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：双向同步拉伸铗子机构
- 下一篇：弹性橡胶密封垫挤出模具
