[发明专利]抗蚀剂剥离剂有效
| 申请号： | 201280038198.1 | 申请日： | 2012-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN103733137B | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 大坪博文;石井庆一郎;久保贤一;柳基典 | 申请（专利权）人： | 野村微科学股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 张楠;陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 | ||
1.一种抗蚀剂剥离剂，其特征在于，其含有：
(A)选自碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯、γ-丁内酯和环戊酮中的1种以上的化合物50～99质量％；以及
(B)碳酸甘油酯1～50质量％。
2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离剂，其特征在于，所述(A)是选自碳酸亚乙酯和碳酸亚丙酯中的1种以上。
3.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离剂，其特征在于，其含有：(A)碳酸亚乙酯20～80质量％、碳酸亚丙酯5～30质量％；以及(B)碳酸甘油酯5～50质量％。
4.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离剂，其特征在于，其仅由：(A)碳酸亚乙酯55～75质量％、碳酸亚丙酯5～25质量％；以及(B)碳酸甘油酯10～30质量％构成。
5.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离剂，其特征在于，其进一步含有水，该水的比例相对于该水的添加前的所述抗蚀剂剥离剂100质量份为30质量份以下。
6.根据权利要求2所述的抗蚀剂剥离剂，其特征在于，其进一步含有水，该水的比例相对于该水的添加前的所述抗蚀剂剥离剂100质量份为30质量份以下。
7.根据权利要求3所述的抗蚀剂剥离剂，其特征在于，其进一步含有水，该水的比例相对于该水的添加前的所述抗蚀剂剥离剂100质量份为30质量份以下。
8.一种抗蚀剂剥离剂，其特征在于，相对于权利要求4所述的抗蚀剂剥离剂整体100质量份，含有30质量份以下的水。
9.根据权利要求1～8中的任一项所述的抗蚀剂剥离剂，其特征在于，60℃时的粘度为10cP以下。
10.根据权利要求1～8中的任一项所述的抗蚀剂剥离剂，其特征在于，闪点为100℃以上。
11.根据权利要求9所述的抗蚀剂剥离剂，其特征在于，闪点为100℃以上。
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