[发明专利]用于光致抗蚀剂冲洗剂溶液的全氟烷基磺酰胺表面活性剂

权利要求书

1.一种使光致抗蚀剂材料的表面改性的方法，包括：

将所述光致抗蚀剂材料暴露于水性离子表面活性剂溶液，所述水性离子表面活性剂溶液包含具有式I的全氟烷基磺酰胺：

R_fSO₂NH-R’    (I)

其中R_f=C_nF_2n+1-，并且n=1至6，R’=-H、-CH₃和-CH₂CH₂OH；以及

改变所述水性离子表面活性剂溶液的pH直至含氟化合物层形成于所述光致抗蚀剂材料中或所述光致抗蚀剂材料上；

其中所述水性离子表面活性剂溶液具有在约3pH单位全氟烷基磺酰胺pKa内的pH。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述水性离子表面活性剂溶液具有在约2pH单位全氟烷基磺酰胺pKa内的pH。

3.根据权利要求1所述的方法，其中改变所述水性离子表面活性剂溶液的pH基本上不包括所述光致抗蚀剂材料的熔融。

4.根据权利要求1所述的方法，其中改变所述水性离子表面活性剂溶液的pH包括所述光致抗蚀剂材料上基本上不形成畸形。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述水性离子表面活性剂溶液具有介于约10ppm和约10000ppm之间的浓度。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述水性离子表面活性剂溶液具有介于约50ppm和约5000ppm之间的浓度。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述水性离子表面活性剂溶液具有介于约99.9:0.1和约0.1:99.9之间的中性磺酰胺对磺酰胺盐的比率。

8.根据权利要求1所述的方法，还包括干燥所述光致抗蚀剂材料以移除所述水性离子表面活性剂溶液。

9.根据权利要求1所述的方法，还包括用去离子水冲洗所述光致抗蚀剂材料。

10.根据权利要求1所述的方法，其中n=4。

11.根据权利要求1所述的方法，其中所述水性离子表面活性剂溶液选自：C₄F₉SO₂N(H)CH₂CH₂OH、C₄F₉SO₂NH₂和C₄F₉SO₂N(H)CH₃。

12.根据权利要求1所述的方法，其中所述光致抗蚀剂为图案化光致抗蚀剂。