[发明专利]旋转溅射靶组件

权利要求书

1. 可旋转溅射靶组件，其包括：

背衬管，其包括外表面；

溅射管状靶，其包括内表面，所述内表面与所述背衬管的所述外表面直接接触，其中，所述背衬管共轴地配置在所述管状靶的内部体积之内；以及

多个间隔开的槽，其设置在所述靶的所述内表面和所述背衬管的所述外表面之间，由此，所述多个槽中的每一个都沿着所述组件的周边延伸，所述槽配置成与突入其内的所述溅射靶的部分互锁，以产生带槽交界面。

2. 根据权利要求1所述的组件，其中，所述背衬管包括第一材料，所述靶包括第二材料并且所述多个间隔开的槽沿着所述第一材料设置。

3. 根据权利要求1所述的组件，其中，所述多个间隔开的槽沿着所述背衬管的所述外表面延伸，并且进一步地，其中，所述管状靶的内表面的部分突入所述多个槽中的每一个的至少一部分中。

4. 根据权利要求1所述的组件，其中，所述组件包括足以排除在溅射期间所述组件的翘曲的结合强度。

5. 根据权利要求1所述的组件，其中，所述多个间隔开的槽中的每一个都具有预定的形状、高度、深度和宽度的特征。

6. 根据权利要求1所述的组件，其中，所述槽选自由正方形、矩形、锯齿形和圆形形状构成的集合。

7. 根据权利要求1所述的组件，其中，所述溅射管状靶配置成在高达大约20kW/m的功率密度水平下溅射而不脱离。

8. 根据权利要求1所述的组件，其中，所述可旋转溅射靶组件具有大约73000磅的极限负荷的特征。

9. 根据权利要求1所述的组件，其中，所述靶坯和所述背衬管由选自由纯铝、纯钽、纯铜、纯钛以及高纯度铝合金和中纯度铝合金构成的集合的材料形成。

10. 用于形成管状溅射靶组件的方法，其包括下列步骤：

提供圆柱形背衬管，所述背衬管包括非平面的外表面和沿着所述非平面外表面定位的多个分离且明显的槽，由此，所述槽沿着所述背衬管的端部分延伸；

提供管状靶坯，其包括非平面的内表面；

将所述靶坯定位在所述背衬管之上；

输送所述靶坯和所述背衬管通过模；并且

使所述靶坯的外径减小，由此，所述靶的内径的一部分至少部分地突入所述背衬管的所述槽中，以将所述靶坯锁定在其中。

11. 根据权利要求10所述的方法，其中，所述靶坯的所述部分机械地变形入所述槽中。

12. 根据权利要求10所述的方法，其中，所述多个槽中的每一个都以所述变形的靶坯材料填充至少15%。

13. 根据权利要求10所述的方法，其中，所述靶坯和所述背衬管由选自由纯铝、纯钽、纯铜、纯钛以及高纯度铝合金和中纯度铝合金构成的集合的材料形成。

14. 根据权利要求13所述的方法，其中，所述靶坯和所述背衬管的所述材料的纯度为3N、4N或5N。

15. 根据权利要求10所述的方法，其中，所述靶坯与所述背衬管一起共拉拔。

16. 根据权利要求10所述的方法，其中，所述靶坯与所述背衬管一起共挤压。