[发明专利]树脂被覆锯丝和切断体有效
| 申请号： | 201280040082.1 | 申请日： | 2012-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN103764345A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 吉川一男;家口浩;藤泽和久;阿南匡范;浦塚昭典;松岛义武 | 申请（专利权）人： | 株式会社钢臂功科研 |
| 主分类号： | B24B27/06 | 分类号： | B24B27/06;B28D5/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 雒运朴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 树脂 被覆 切断 | ||
1.一种树脂被覆锯丝，其特征在于，是用锯床切断工件时所使用的树脂皮膜锯丝，其包括：钢线；和被覆所述钢线的表面，不含磨粒且120℃时的硬度为0.07GPa以上的树脂皮膜，
其中，所述树脂皮膜以抑制在切断工件时所喷吹的磨粒侵入树脂皮膜的方式来控制硬度。
2.根据权利要求1所述的树脂被覆锯丝，其中，所述树脂皮膜的膜厚为2～15μm。
3.根据权利要求1所述的树脂被覆锯丝，其中，所述钢线的线径在130μm以下。
4.根据权利要求2所述的树脂被覆锯丝，其中，所述钢线的线径在130μm以下。
5.根据权利要求1所述的树脂被覆锯丝，其中，所述树脂是聚氨酯、聚酰胺酰亚胺或聚酰亚胺。
6.根据权利要求2所述的树脂被覆锯丝，其中，所述树脂是聚氨酯、聚酰胺酰亚胺或聚酰亚胺。
7.根据权利要求3所述的树脂被覆锯丝，其中，所述树脂是聚氨酯、聚酰胺酰亚胺或聚酰亚胺。
8.根据权利要求4所述的树脂被覆锯丝，其中，所述树脂是聚氨酯、聚酰胺酰亚胺或聚酰亚胺。
9.一种切断体，其特征在于，是如下而得到的切断体：对于权利要求1～8中任一项所述的树脂被覆锯丝喷吹磨粒，通过所述树脂皮膜抑制磨粒向切断面和树脂被覆锯丝之间的引入，同时在所述树脂被覆锯丝相对于工件的切入方向上引入磨粒，由此切断工件而得到切断体，其中，
工件的切断面的加工变质层深度为5μm以下。
10.根据权利要求9所述的切断体，其中，所述工件的切断面的表面粗糙度在0.5μm以下。
11.根据权利要求9所述的切断体，其中，所述工件的切断量相对于树脂被覆锯丝的线径为1～1.10倍。
12.根据权利要求10所述的切断体，其中，所述工件的切断量相对于树脂被覆锯丝的线径为1～1.10倍。
13.根据权利要求9所述的切断体，其中，所述工件的总厚度偏差（total thickness variation,TTV）在20μm以下。
14.根据权利要求10所述的切断体，其中，所述工件的总厚度偏差（total thickness variation,TTV）在20μm以下。
15.根据权利要求11所述的切断体，其中，所述工件的总厚度偏差（total thickness variation,TTV）在20μm以下。
16.根据权利要求12所述的切断体，其中，所述工件的总厚度偏差（total thickness variation,TTV）在20μm以下。
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