[发明专利]检查/维修/检查系统

权利要求书

1.一种用于电路的检查/维修/检查系统中的透镜组合件，其包括：

扫描透镜，其操作以在用于维修的激光束的特定波长下校正所述激光束的偏差；

及

相机透镜，其操作以通过所述扫描透镜接收来自工件的光并在由所述相机感测的至少一个特定波长下校正偏差，所述波长不是用于维修的所述激光束的所述特定波长。

2.根据权利要求1所述的透镜组合件，且其还包括与位于所述扫描透镜的上游的扫描镜相关联的入射光瞳。

3.根据权利要求2所述的透镜组合件，其中所述入射光瞳位于所述镜的光学中心处。

4.根据权利要求1所述的透镜组合件，其中用于维修的所述激光束的所述特定波长为266纳米。

5.根据权利要求1所述的透镜组合件，其中由所述相机感测的所述至少一个特定波长选自460纳米到480纳米的范围及520纳米到540纳米的范围中的至少一者。

6.根据权利要求1所述的透镜组合件，其还包括操作以产生所述激光束的激光器，所述激光器在小于1微焦耳的脉冲能级下操作。

7.一种用于电路的检查/维修/检查系统中的组合器组合件，其包括：

第一组合器，其布置在扫描镜与扫描透镜之间以用于将来自所述扫描镜的第一波长下的激光能量引导穿过所述扫描透镜到达工件上并允许不同于所述第一波长的第二波长下的光穿过所述第一组合器；

第二组合器，其布置在第一相机与所述第一组合器之间以用于将穿过所述第一组合器的来自所述工件的光引导到所述第一相机；及

第三组合器，其布置在所述第二组合器与照明源之间以用于将来自所述照明源的光引导穿过所述第二组合器及所述第一组合器到达所述工件并允许穿过所述第一组合器及所述第二组合器的来自所述工件的光到达第二相机。

8.根据权利要求7所述的组合器组合件，其中所述照明源包括彩色LED组合件及频闪光源中的至少一者。

9.根据权利要求8所述的组合器组合件，其中所述频闪光源包括闪光灯。

10.根据权利要求7所述的组合器组合件，其中所述第一相机为单色相机。

11.根据权利要求7所述的组合器组合件，其中所述第二相机为彩色相机。

12.根据权利要求7所述的组合器组合件，其中所述第一波长为266纳米。

13.根据权利要求7所述的组合器组合件，其中所述第二波长在460纳米到660纳米的范围中。

14.根据权利要求7所述的组合器组合件，其还包括操作以产生所述激光能量的激光器，所述激光器在小于1微焦耳的脉冲能级下操作。

15.一种用于电路的检查/维修/检查系统，其包括：

激光烧蚀器，其操作以用于烧蚀电路中的金属、有机材料、氧化硅及金属氧化物，所述激光烧蚀器包括在小于1微焦耳的脉冲能级下以266纳米的波长发射的激光器。

16.一种用于电路的检查/维修/检查系统，其包括：

激光焊机，其操作以用于将金属焊接到彼此或焊接到金属氧化物，所述激光焊机包括在小于1微焦耳的脉冲能级下以266纳米的波长发射的激光器。

17.一种激光写入系统，其包括：

UV激光器，其产生输出光束，所述输出光束沿着垂直于输出光束的传播轴的第一轴具有一股高斯能量分布及沿着垂直于所述第一轴的第二轴具有非高斯能量分布，所述第二轴垂直于所述传播轴；及

光束校正光学器件，其操作以将所述输出光束的所述能量分布校正为沿着所述第二轴为一股高斯分布。

18.一种用于电路的检查/维修/检查系统，其包括：

声光调制器及电光调制器中的至少一者；

快速转向镜；及

控制组合件，其操作以精确协调声光调制器及电光调制器中的所述至少一者与所述快速转向镜。

19.根据权利要求18所述的用于电路的检查/维修/检查系统，且其还包括将所述镜及所述声光调制器与所述控制组合件互连的控制线。

20.根据权利要求18所述的用于电路的检查/维修/检查系统，其中所述控制组合件操作以相对于所述声光调制器定位所述镜，使得从所述声光调制器输出的激光束精确撞击在由所述系统检查/维修/检查的工件上的所要点处。