[发明专利]离子束装置有效
申请号: | 201280040502.6 | 申请日: | 2012-05-28 |
公开(公告)号: | CN103733296A | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
发明(设计)人: | 武藤博幸;川浪义实 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立高新技术 |
主分类号: | H01J27/26 | 分类号: | H01J27/26;H01J37/08;H01J37/18;H01J37/28;H01J37/317 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 张敬强;严星铁 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 离子束 装置 | ||
1.一种离子束装置,其通过将从气体电场电离离子源产生的离子束照射到试样上,进行试样的观察或加工,该离子束装置的特征在于,
上述气体电场电离离子源具有:
为阳极的发射器芯片;
为阴极的引出电极;
从气体导入口向上述发射器芯片的前端部与上述引出电极之间的空间供给气体的气体导入部;以及
收放上述发射器芯片与上述引出电极,并具备排出上述气体的排气口的真空容器,
上述气体导入口设在接地电位的结构体上。
2.根据权利要求1所述的离子束装置,其特征在于,
上述结构体是对上述离子束进行加速或集束的透镜电极。
3.根据权利要求1所述的离子束装置,其特征在于,
上述结构体以包围上述发射器芯片的方式设置。
4.根据权利要求1所述的离子束装置,其特征在于,
上述引出电极与上述发射器芯片对置地设置,
上述引出电极与上述结构体以包围上述发射器芯片的方式设置。
5.根据权利要求2所述的离子束装置,其特征在于,
上述结构体以包围上述发射器芯片的方式设置,并且,具有上述离子束通过的开口部,
上述气体通过上述开口部进行差压排气。
6.根据权利要求1所述的离子束装置,其特征在于,
上述气体导入部的气体导入口设在与上述离子束的光轴垂直且比包括上述发射器芯片的前端的平面靠上述发射器芯片侧。
7.根据权利要求1所述的离子束装置,其特征在于,
上述气体导入部的气体导入口设在比包括上述引出电极的上述发射器芯片侧的面的平面靠上述发射器芯片侧。
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