[发明专利]硼酸酯、含硼掺杂剂和制造含硼掺杂剂的方法

权利要求书

1.包含硼和硅的硼酸酯，其中硼通过经由酯键与硼和硅都键合的烷基连接到硅上。

2.包含硼和硅网络的含硼掺杂剂，其中硼和硅经由Si-O-烷基-O-B键连接。

3.权利要求2的含硼掺杂剂，其中所述Si-O-烷基-O-B键的烷基衍生自选自季戊四醇、戊二醇、甘油、乙二醇、丁二醇及其组合的多元醇。

4.权利要求2的含硼掺杂剂，其中硅和硼以大约0.75:1 Si:B至大约6:1 Si:B的摩尔比存在。

5.权利要求2的含硼掺杂剂，其中硼和硅网络具有结构：

[(R³)B]_y[(R¹)_nSi(R²)_(4-n)]_x,

其中R¹是任何二醇或多元醇或其组合，R²是任何烷基、芳基、烷氧基或苯氧基，R³是三丙二醇丁基醚、庚醇、己醇、丙二醇甲基醚（PGME）、二丙二醇甲基醚、二丙二醇丙基醚、二丙二醇丁基醚、丁醇、戊醇、辛醇或癸醇，n是1、2、3或4，且x/y等于0.75至6的值。

6.权利要求2的含硼掺杂剂，进一步包含溶剂。

7.权利要求6的含硼掺杂剂，其中所述溶剂选自丙二醇甲基醚（PGME）、丙二醇单醚乙酸酯（PGMEA）、1-甲氧基-2-丙醇、丙二醇二甲基醚、二丙二醇丁基醚、二丙二醇丁基醚乙酸酯、四丙二醇丁基醚、三丙二醇丁基醚、己醇、庚醇及其组合。

8.权利要求2的含硼掺杂剂，其中所述含硼掺杂剂包含少于100 ppb的过渡金属阳离子。

9.制造含硼掺杂剂的方法，所述方法包括以下步骤：

提供硼酸酯(盐)；和

使用多元醇取代的硅单体酯交换所述硼酸酯(盐)以形成含硼掺杂剂。

10.权利要求9的方法，进一步包括将第二种醇添加到所述硼酸酯(盐)、所述多元醇取代的硅单体或它们的混合物中。