[发明专利]用于硅太阳能电池制造的高速激光扫描系统

权利要求书

1.一种用于将电磁波传递至太阳能电池基板的表面的装置，包含：

多边形镜，具有数个反射刻面以及一旋转轴；

致动器，设置以相对于所述旋转轴旋转所述多边形镜；

激光源，定位以便将电磁波引导至所述多边形镜的至少一反射刻面；以及

基板定位元件，具有基板支撑平面，其中所述基板定位元件设置以定位基板来接受从所述多边形镜的所述反射刻面反射的电磁波。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，当从所述反射刻面反射的所述电磁波被引导至所述基板时，所述基板定位元件设置以线性输送所述基板。

3.如权利要求1所述的装置，进一步包含：

一个或多个定位传感器；以及

系统控制器，设置以接收来自所述一个或多个定位传感器的信号。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述一个或多个定位传感器设置以便在所述基板定位元件在与所述电磁波从所述多边形镜的反射刻面反射的方向实质上正交的方向上线性输送所述基板时，检测所述基板的前边缘。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述系统控制器设置以便基于从所述一个或多个定位传感器接收的信号，控制所述激光源、所述电动机以及所述基板定位系统的操作。

6.如权利要求1所述的装置，进一步包含定位介于所述激光源以及所述多边形镜之间的光束成形器。

7.一种激光扫描模块，包含：

激光扫描元件，包含多边形镜且设置以扫描电磁波脉冲，所述电磁波脉冲由所述多边形镜在横越基板表面的第一方向上反射；

基板定位系统，所述基板定位系统设置以便在电磁波脉冲向所述基板被引导时，在第二方向上线性输送所述基板，其中所述第二方向实质上正交于所述第一方向；

一个或多个定位传感器，所述一个或多个定位传感器设置以便在所述基板在所述第二方向上向所述激光扫描元件移动时，检测所述基板的前边缘；以及

系统控制器，设置以基于从所述一个或多个定位传感器接收的信号来控制所述激光扫描元件以及所述基板定位系统的操作。

8.如权利要求7所述的模块，其特征在于，所述激光扫描元件进一步包含：

激光源；以及

光束成形器，定位介于所述激光源以及所述多边形镜之间。

9.如权利要求8所述的模块，其特征在于，所述激光扫描元件进一步包含致动器，设置以便以期望的速度旋转所述多边形镜。

10.一种将电磁波传递至太阳能电池基板表面的方法，包含下列步骤：

绕旋转轴旋转具有数个反射面的多边形镜；

在第一方向上平移基板；以及

当所述多边形镜绕所述旋转轴旋转时，将电磁波脉冲传递至所述数个反射面，其中，一定数量的所述传递电磁波从所述数个反射面向所述基板的表面反射，且其中，在与所述第一方向正交的第二方向上横越所述基板的表面扫描所反射的电磁波。

11.如权利要求10所述的方法，其特征在于，所述基板的表面具有置于其上的一个或多个材料层，且其中当横越所述基板的表面扫描所反射的电磁波时，所述一个或多个层的每一层的一部分被剥离。

12.如权利要求11所述的方法，其特征在于，当横越所述基板的表面扫描所反射的电磁波时，一排的孔贯穿所述一个或多个层而形成。

13.如权利要求11所述的方法，其特征在于，当横越所述基板的表面扫描所反射的电磁波时，数排的孔贯穿所述一个或多个层而形成。

14.如权利要求11所述的方法，其特征在于，当所述基板在所述第一方向上被平移时的基板位置用以控制所述电磁波脉冲的传递。

15.如权利要求11所述的方法，其特征在于，当横越所述基板的表面扫描所反射的电磁波时，数个孔贯穿一个或多个层而形成，而不损坏所述基板表面。