[发明专利]配线缺陷检测方法和配线缺陷检测装置

权利要求书

1.一种配线缺陷检测方法，

用于通过利用红外线相机拍摄具有多个焊盘和配线的面板来检测上述配线的缺陷，其特征在于，包含：

存储工序，将对应关系数据存储于数据存储部，上述对应关系数据是使根据上述红外线相机的拍摄视野区域将上述面板分割为多个而得到的各检查区域和上述多个焊盘中的与各检查区域对应的焊盘相对应而得到的；

焊盘切换工序，使上述面板和上述红外线相机的相对位置变化，并且基于红外线相机的拍摄视野区域的位置和保存于上述数据存储部的上述对应关系数据，切换进行供电的焊盘；

电压施加工序，经由在上述焊盘切换工序中切换到的焊盘向与该焊盘对应的上述配线施加规定的电压；以及

缺陷检测工序，利用上述红外线相机拍摄包含在上述电压施加工序中施加了上述电压的配线的检查区域，检测上述配线的缺陷。

2.根据权利要求1所述的配线缺陷检测方法，其特征在于，

作为上述存储工序的前工序，

包含：对应关系作成工序，根据上述红外线相机的拍摄视野区域将上述面板分割为多个检查区域，从上述多个焊盘中推算出与各检查区域对应的焊盘，使检查区域和与该检查区域对应的焊盘相对应，作成上述对应关系数据。

3.根据权利要求2所述的配线缺陷检测方法，其特征在于，

作为上述对应关系作成工序的前工序，包含：

检查区域数判断工序，根据上述面板的大小和上述红外线相机的拍摄视野区域的大小，判断是否必须将面板分割为多个检查区域；以及

检查区域决定工序，在上述检查区域数判断工序中判断为必须分割为多个检查区域的情况下，决定各检查区域的大小。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的配线缺陷检测方法，其特征在于，

在上述焊盘切换工序中，将与各焊盘连接而进行供电的探针切换为在上述电压施加工序中施加电压的探针，从而将按照红外线相机的拍摄视野区域的位置进行供电的焊盘切换为与检查区域对应的焊盘。

5.一种配线缺陷检测装置，

用于通过利用红外线相机拍摄具有多个焊盘和配线的面板来检测上述配线的缺陷，其特征在于，具备：

上述红外线相机；

数据存储部，其保存对应关系数据，上述对应关系数据是使根据上述红外线相机的拍摄视野区域将上述面板分割为多个而得到的各检查区域和上述多个焊盘中的与各检查区域对应的焊盘相对应而得到的；

移动单元，其使上述面板和上述红外线相机的相对位置变化；

焊盘切换单元，其基于利用上述移动单元移动上述相对位置的红外线相机的拍摄视野区域的位置和保存于上述数据存储部的上述对应关系数据，切换进行供电的焊盘；

电压施加单元，其经由被上述焊盘切换单元切换到的焊盘向与该焊盘对应的配线施加规定的电压；以及

缺陷检测单元，其利用上述红外线相机拍摄包含由上述电压施加单元施加了上述电压的配线的检查区域，检测上述配线的缺陷，

上述焊盘切换单元和上述缺陷检测单元设置于控制部。

6.根据权利要求5所述的配线缺陷检测装置，其特征在于，

还具备：对应关系作成部，其根据上述红外线相机的拍摄视野区域将上述面板分割为多个检查区域，从上述多个焊盘中推算出与各检查区域对应的焊盘，使检查区域和与该检查区域对应的焊盘相对应，作成上述对应关系数据，

上述数据存储部保存上述对应关系作成部作成的上述对应关系数据，

上述对应关系作成部设置于上述控制部。

7.根据权利要求6所述的配线缺陷检测装置，其特征在于，

在上述对应关系作成部中设置有：

检查区域数判断单元，其根据上述面板的大小和上述红外线相机的拍摄视野区域的大小判断是否必须将面板分割为多个检查区域；以及

检查区域决定单元，其在由上述检查区域数判断单元判断为必须分割为多个检查区域的情况下，决定各检查区域的大小。

8.根据权利要求5至7中的任一项所述的配线缺陷检测装置，其特征在于，

具备与上述焊盘连接而进行供电的探针，

上述焊盘切换单元通过切换为使用上述电压施加单元施加电压的上述探针，将按照红外线相机的拍摄视野区域的位置进行供电的焊盘切换为与检查区域对应的焊盘。