[发明专利]压电体波装置及其制造方法

权利要求书

1.一种压电体波装置，具备：

由LiTaO₃构成的压电薄板；和

设置成与所述压电薄板相接的第1、第2电极，

所述压电体波装置利用了由所述LiTaO₃构成的压电薄板的厚度切变模式，在所述LiTaO₃的欧拉角(θ，ψ)中，为0°，θ处于54°以上且107°以下的范围内。

2.根据权利要求1所述的压电体波装置，其中，

所述LiTaO₃的欧拉角的θ处于55°～88°的范围内。

3.根据权利要求1所述的压电体波装置，其中，

所述LiTaO₃的欧拉角的θ处于62°～87°的范围内。

4.一种压电体波装置的制造方法，该压电体波装置利用了由LiTaO₃构成的压电薄板的厚度切变模式，其中，所述压电体波装置的制造方法具备：

准备压电薄板的工序，在该压电薄板的欧拉角(，θ，ψ)中，为0°，θ处于54°以上且107°以下的范围内；

与所述压电薄板相接地形成第1电极的工序；和

与所述压电薄板相接地形成第2电极的工序。

5.根据权利要求4所述的压电体波装置的制造方法，其中，

准备所述压电薄板的工序具备：

从由LiT_aO₃构成的压电基板的一个面进行离子注入以在该一个面侧形成注入离子浓度最高的高浓度离子注入部分的工序；

在所述压电基板的所述一个面侧接合支承基板的工序；和

对所述压电基板进行加热的同时，在所述高浓度离子注入部分将所述压电基板分离为从该压电基板的所述一个面直至所述高浓度离子注入部分的压电薄板、和剩下的压电基板部分的工序。

6.根据权利要求4所述的压电体波装置的制造方法，其中，

准备所述压电薄板的工序具有：

从由LiTaO₃构成的压电基板的一个面进行离子注入以在该一个面侧形成注入离子浓度最高的高浓度离子注入部分的工序；

在所述压电基板的所述一个面侧粘合临时支承部件的工序；和

对粘合于所述临时支承部件的压电基板进行加热的同时，在所述高浓度离子注入部分将所述压电基板分离为从该压电基板的所述一个面直至所述高浓度离子注入部分的压电薄板、和剩下的压电基板部分的工序，

所述压电体波装置的制造方法还具备：

从所述压电薄板剥离所述临时支承部件的工序。

7.根据权利要求6所述的压电体波装置的制造方法，其中，

在从所述压电薄板剥离所述临时支承部件之前，先实施：在所述压电薄板上形成第1电极的工序；覆盖所述第1电极地形成牺牲层的工序；和在所述牺牲层上层叠支承基板的工序，

在从所述压电薄板剥离了临时支承部件之后，还具备：在通过所述临时支承部件的剥离而露出的所述压电薄板的另一个面形成第2电极的工序；和使所述牺牲层消失的工序。