[发明专利]金属充填装置

权利要求书

1.一种金属充填装置，其特征在于，其是一将供给至被处理物上的熔融金属，充填至所述被处理物表面上形成开口的微小空间内的金属充填装置；包括：

具有保持所述被处理物的保持部；

含有内部空间，其中一端设置于与所述保持部呈对向的筒状元件；

被嵌设在所述筒状元件的内部空间内可自由进退的挤压组件；

相对于保持于所述保持部的所述被处理物，使所述挤压组件进退的挤压机构；

具有使所述保持部以及所述筒状元件的至少其中一方朝另一方靠近、远离的升降机构；

通过保持于所述保持部的所述被处理物或所述保持部，与所述筒状元件及所述挤压组件所形成的气密状的处理室；

更具备有对所述处理室内做减压的减压机构；

供给熔融金属至所述处理室内的熔融金属供给机构；

将加压的熔融金属供给至所述处理室内的供给机构；

同时通过所述挤压组件的进退位置而使所述处理室的容积产生变化。

2.根据权利要求1所述的金属充填装置，其特征在于，经由所述熔融金属供给机构将所供给的熔融金属封入所述挤压组件与所述被处理物表面之间的熔融金属封装部，设置于所述挤压组件上。

3.根据权利要求1所述的金属充填装置，其特征在于，其中一端具有在所述筒状元件的内壁面开口的通气通道，同时另一端则具有在所述筒状元件的内壁面开口的供给通道；

所述减压机构为经由所述通气通道将所述处理室内的气体排出，以使所述处理室内部减压的结构；

所述熔融金属供给机构为经由所述供给通道将熔融金属供给至处理室内的结构。

4.根据权利要求3所述的金属充填装置，其特征在于，将所述熔融金属供给机构所供给的熔融金属封入所述挤压组件与所述被处理物表面之间的熔融金属封装部，装设于所述挤压组件上。

5.根据权利要求1所述的金属充填装置，其特征在于，其中一端上在所述挤压组件的所述保持部的对向面上做一开口，并具备有在该挤压组件上形成的通气通道，而另一端上在挤压组件的所述对向面做开口并具备有在挤压组件上形成的供给通道；

所述减压机构，为经由所述通气通道将所述处理室内的气体排出，以使该处理室内部减压的结构；

所述熔融金属供给机构，为经由所述供给通道将熔融金属供给至处理室内的结构。

6.根据权利要求5所述的金属充填装置，其特征在于，经由所述熔融金属供给机构将所供给的熔融金属封入所述挤压组件与所述被处理物表面之间的熔融金属封装部，设置于所述挤压组件上。

7.根据权利要求1所述的金属充填装置，其特征在于，所述挤压机构，可在进出时令所述挤压组件能够推压进出至所述被处理物上。

8.根据权利要求7所述的金属充填装置，其特征在于，经由所述熔融金属供给机构将所供给的熔融金属封入所述挤压组件与所述被处理物表面之间的熔融金属封装部，设置于所述挤压组件上。

9.根据权利要求7所述的金属充填装置，其特征在于，其中一端具有在所述筒状元件的内壁面开口的通气通道，而另一端则是具有在所述筒状元件的内壁面开口的供给通道，

所述减压机构，为经由所述通气通道将所述处理室内的气体排出，以使该处理室内部减压的结构；

所述熔融金属供给机构，为经由所述供给通道将熔融金属供给至所述处理室内的结构。

10.根据权利要求9所述的金属充填装置，其特征在于，经由所述熔融金属供给机构将所供给的熔融金属封入所述挤压组件与所述被处理物表面之间的熔融金属封装部，设置于所述挤压组件上。

11.根据权利要求7所述的金属充填装置，其特征在于，其中一端上在所述挤压组件的所述保持部的对向面上做一开口，并具备有在该挤压组件上形成的通气通道，而另一端上在挤压组件的所述对向面做开口并具备有在挤压组件上形成的供给通道；

所述减压机构，为经由所述通气通道将所述处理室内的气体排出，以使该处理室内部减压的结构；

所述熔融金属供给机构，为经由所述供给通道将熔融金属供给至所述处理室内的结构。

12.根据权利要求11所述的金属充填装置，其特征在于，经由所述熔融金属供给机构将所供给的熔融金属封入所述挤压组件与所述被处理物表面之间的熔融金属封装部，设置于所述挤压组件上。