[发明专利]用于保护连接到射频发生器的无源组件的方法和装置

权利要求书

1.一种用于保护连接到高频发生器（11、11.1、51、52）的无源组件（14、53、54）的方法，所述方法包括以下步骤：

a.利用所述高频发生器（11、11.1、51、52）在基频处产生高频功率；

b.通过高频电缆（14、53、54）向负载（16）输送所述高频功率；

c.确定与连接到所述高频发生器（11、11.1、51、52）的至少一个无源组件的高频负载相关的变量；

d.将所确定的变量与描述在至少一个连接的无源组件上的最大负载的参考变量相比较；

e.基于比较结果来调整由所述高频发生器（11、11.1、51、52）在所述基频处产生的所述高频功率。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，基于所述比较结果来控制由所述高频发生器（11、11.1、51、52）在所述基频处产生的所述高频功率。

3.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，确定与在所述基频处通过所述高频电缆（14、53、54）所输送的所述高频功率相关的变量，将所确定的变量与所述高频功率的设定值（33）相比较，以及基于所述比较结果来匹配由所述高频发生器（11、11.1、51、52）在所述基频处产生的所述高频功率。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述比较结果被用于调整由所述高频发生器（11、11.1、51、52）在所述基频处产生的所述高频功率，其造成所述高频功率相对较大的降低。

5.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，确定在不同于所述基频的频率处通过所述高频电缆所输送的功率。

6.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，确定通过所述高频电缆（14、53、54）朝一个方向所输送的全部功率。

7.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，确定在所述基频处通过所述高频电缆（14、53、54）朝一个方向所输送的功率。

8.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，显示通过所述高频电缆（14、53、54）朝所述负载（16）的方向所输送的全部功率和/或在不同于所述基频的频率处的功率。

9.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，由宽带带通滤波器（19）对与通过所述高频电缆（14、53、54）所输送的功率相关的信号进行滤波。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，通过修正频率响应（20）来修改所述带通滤波器（19）。

11.根据权利要求9或10所述的方法，其特征在于，在所述带通滤波中使用修正因子，所述修正因子取决于在所述基频处反射在所述负载（16）上的功率。

12.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，使用从所述高频发生器（11、11.1、51、52）朝所述负载（16）的方向所馈送的正向功率（P₁）或使用反射功率（P_R）来确定至少一个无源组件特别是所述高频电缆（14、53、54）的所述高频负载。

13.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，确定多个无源组件特别是所述高频电缆（14、53、54）的所述高频负载，相应的HF发生器（11、11.1、51、52）通过所述高频电缆（14、53、54）连接到所述负载（16），以及如果高频负载超过预定值，则降低连接到所述负载（16）的全部HF发生器（11、11.1、51、52）在各自的基频处所产生的HF功率。

14.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，调整描述无源组件上的所述最大负载的所述参考变量。

15.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，描述所述最大负载的所述参考变量是根据连接到等离子体腔的至少一个无源组件的和/或至少一个有源组件的一系列预定特性来确定的。

16.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，自动地调整描述所述最大负载的所述参考变量。