[发明专利]感光性碱可溶有机硅树脂组合物无效
申请号: | 201280042563.6 | 申请日: | 2012-08-31 |
公开(公告)号: | CN103765313A | 公开(公告)日: | 2014-04-30 |
发明(设计)人: | 斋藤大和;岩间珠莉;胜又彻;佐佐木由香;木村正志;松田治美 | 申请(专利权)人: | 旭化成电子材料株式会社 |
主分类号: | G03F7/075 | 分类号: | G03F7/075;C08F230/08;C08F290/08;C08G77/14;C08G77/20;G03F7/033;G03F7/038;H01L21/027 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 可溶 有机 硅树脂 组合 | ||
1.一种感光性碱可溶有机硅树脂组合物,其含有:
一分子内具有羧基或二羧酸酐基的碱可溶性有机硅树脂(A);
酸值为10mgKOH/g~200mgKOH/g的碱可溶性树脂(B);和
光聚合引发剂(C),
该(A)成分或(B)成分具有光聚合性不饱和双键基团、或者该感光性碱可溶有机硅树脂组合物还含有具有光聚合性不饱和双键的化合物(D)。
2.根据权利要求1所述的感光性碱可溶有机硅树脂组合物,其中,所述碱可溶性有机硅树脂(A)在一分子内还具有光聚合性不饱和双键基团。
3.根据权利要求1或2所述的感光性碱可溶有机硅树脂组合物,其中,所述碱可溶性有机硅树脂(A)是通过下述通式(I)所示的硅烷化合物(A-1)与下述通式(II)所示的硅烷化合物(A-2)的反应得到的,
R1R2aSi(R3)3-a (I)
通式(I)中,R1是含有羧基或二羧酸酐基的碳原子数为4~20的一价有机基团,R2是甲基,R3是选自由甲氧基、乙氧基、丙氧基和异丙氧基组成的组中的至少一种一价有机基团、羟基、或氯(Cl),并且a是0或1的整数,
R4bR5cSi(R3)4-b-c (II)
通式(II)中,R4和R5是含有光聚合性不饱和双键基团或聚合性环状醚键合基团的碳原子数为2~20的基团、碳原子数为6~20的芳基、碳原子数为2~20的烷基芳基、任选被巯基或氨基取代的碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为5~20的环烷基、或者含有羧基或二羧酸酐基的碳原子数为4~20的基团,R4和R5任选相同或不同,进而任选介由共价键相互连接,R3是选自由甲氧基、乙氧基、丙氧基和异丙氧基组成的组中的至少一种一价有机基团、羟基、或Cl,b是选自0~2中的整数,c是0或1的整数,并且b+c不会超过2。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性碱可溶有机硅树脂组合物,其中,所述碱可溶性有机硅树脂(A)是通过使所述硅烷化合物(A-1)、所述硅烷化合物(A-2)和下述通式(III)所示的硅烷二醇化合物(A-3)在催化剂的存在下反应来得到的,
R62Si(OH)2 (III)
通式(III)中,R6是碳原子数为6~20的芳基、碳原子数为2~20的烷基芳基、任选被巯基或氨基取代的碳原子数为1~20的烷基、或者碳原子数为5~20的环烷基,任选相同或不同,并且任选介由共价键相互连接。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的感光性碱可溶有机硅树脂组合物,其中,所述碱可溶性有机硅树脂(A)在一分子内还具有聚合性环状醚基。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的感光性碱可溶有机硅树脂组合物,其中,所述碱可溶性树脂(B)在一分子内具有光聚合性不饱和双键基团。
7.根据权利要求1~6中任一项所述的感光性碱可溶有机硅树脂组合物,其中,所述碱可溶性树脂(B)在一分子内具有光聚合性不饱和双键基团、以及羧基或二羧酸酐基。
8.根据权利要求1~7中任一项所述的感光性碱可溶有机硅树脂组合物,其中,所述碱可溶性树脂(B)为选自下组中的至少一种聚合物:由聚合性不饱和双键的反应物构成的乙烯基聚合物、由环氧基与羟基的加成反应物构成的环氧聚合物、由酚类与甲醛的反应物构成的芳香族亚甲基聚合物、由二醇与二异氰酸酯的反应物构成的氨基甲酸酯聚合物、以及由二羧酸与二环氧化物的反应物构成的酯聚合物。
9.根据权利要求1~8中任一项所述的感光性碱可溶有机硅树脂组合物,其中,所述碱可溶性有机硅树脂(A)的酸值(mgKOH/g)与所述碱可溶性树脂(B)的酸值(mgKOH/g)之比、即酸值(A)/酸值(B)处于0.1以上且5.0以下的范围内。
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