[发明专利]负型感光性树脂组合物、分隔壁以及光学元件

权利要求书

1.一种负型感光性树脂组合物，其特征在于，其包含碱可溶性树脂（A）、光聚合引发剂（B）、拒墨剂（C）和溶剂（D），所述拒墨剂（C）包含含氟有机硅氧烷化合物，所述溶剂（D）以相对于所述溶剂（D）的总量为10～100质量%的比率包含沸点为165～210℃的溶剂（D1）。

2.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述含氟有机硅氧烷化合物中的氟原子的含有比率为10～55质量%。

3.根据权利要求1或2所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述含氟有机硅氧烷化合物包含含有下式（c-1）所表示的水解性硅烷化合物和下式（c-2）所表示的水解性硅烷化合物的混合物的部分水解缩合物，

R^F-SiX₃(R^H)_p-SiX_(4-p)

(c-1)(c-2)

式（c-1）、（c-2）中的记号如以下所述：

R^F：碳原子数3～10的、可以包含醚性氧原子的、具有全氟烷基的有机基团，

R^H：不具有全氟烷基的有机基团，

X：水解性基团，

p：0、1或2，

其中，R^H和X在化合物内存在多个时，它们可以彼此不同，也可以相同。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述溶剂（D1）是下式（3）所表示的化合物，

R¹O（C₂H₄O）_yR²（3）

式（3）中，R¹表示碳原子数为1～10的烷基，R²表示碳原子数为2～10的烷基，y表示1～10的整数。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述溶剂（D1）为二乙二醇乙基甲基醚。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述溶剂（D）还以相对于所述溶剂（D）的总量为1～50质量%的比率包含具有羟基且沸点低于165℃的溶剂（D2）。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述碱可溶性树脂（A）为在1分子中具有酸性基团和烯属双键的感光性树脂。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述光聚合引发剂（B）包含苯乙酮类或O-酰基肟类、与二苯甲酮类的组合。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的负型感光性树脂组合物，其还包含交联剂（E），该交联剂（E）为在1分子中具有2个以上烯属双键且不具有酸性基团的化合物。

10.一种分隔壁，其特征在于，其形成为将基板表面分隔成像素形成用的多个分区的形态，其由权利要求1～9中任一项所述的负型感光性树脂组合物的固化膜形成。

11.一种光学元件，其在基板表面具有多个像素和位于邻接的像素之间的分隔壁，所述分隔壁由权利要求10所述的分隔壁形成。