[发明专利]负型感光性树脂组合物、分隔壁、黑色矩阵以及光学元件有效
申请号: | 201280042629.1 | 申请日: | 2012-08-27 |
公开(公告)号: | CN103782237A | 公开(公告)日: | 2014-05-07 |
发明(设计)人: | 山田光太郎;高桥秀幸;川岛正行;小尾正树 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G02B5/20;G03F7/027;G03F7/031;H01L21/027;H01L51/50;H05B33/12;H05B33/22 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 隔壁 黑色 矩阵 以及 光学 元件 | ||
技术领域
本发明涉及负型感光性树脂组合物、使用其的分隔壁、黑色矩阵、以及具有该分隔壁的光学元件。
背景技术
用于滤色器、有机EL(Electro-Luminescence)元件的像素部的分隔壁已知有在基板上涂布感光性树脂组合物并通过光刻技术而形成的方法。以往,感光性树脂组合物的涂布利用旋涂法来进行。随着基板的大型化,基于旋涂法的涂布变困难,提出了基于狭缝涂布法的涂布方法。
利用狭缝涂布法在基板表面涂布感光性组合物时,虽然也取决于涂布速度,但为了得到良好的膜厚均匀性,优选感光性树脂组合物的粘度低于3.5mPa·s。感光性树脂组合物的粘度高的情况下,由狭缝喷嘴供给的感光性树脂组合物发生断液,会在基板表面产生未被涂布的部分。
另外,利用狭缝涂布法涂布感光性组合物时,需要在涂布前清洗在反复使用中附着、残留于狭缝喷嘴的感光性树脂组合物的干燥固化物的工序。该干燥固化物在感光性树脂组合物中的再溶解性低的情况下,会产生如下的问题:残留于喷嘴部分的干燥固化物形成突起而残留,在基板上涂布感光性树脂组合物时会出现在喷嘴的进行方向产生条纹这样的问题;感光性树脂组合物的干燥固化物掉落而附着于基板,形成缺陷而使成品率降低这样的问题。因此,对于感光性树脂组合物,从生产率的方面出发,具有再溶解性是重要的。出于改善感光性树脂组合物的再溶解性的目的,提出了使用特定的溶剂的感光性树脂组合物(例如,专利文献1、专利文献2以及专利文献3)。
对滤色器的要求特性之一有高对比度化。要求可制造遮光性高的黑色矩阵的感光性树脂组合物。为了制造遮光性高的黑色矩阵,提出了高浓度含有颜料的感光性树脂组合物(例如专利文献4)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2008-58551号公报
专利文献2:日本特开2008-89743号公报
专利文献3:日本特开2008-89744号公报
专利文献4:国际公开第2008/133312号
发明内容
发明要解决的问题
能够制造遮光性高的黑色矩阵的感光性树脂组合物中,如专利文献4所提出的那样,需要高浓度含有颜料,随着颜料浓度的增加,感光性树脂组合物的再溶解性会恶化。
根据本发明人的见解,对于为了高对比度化而高浓度含有颜料的感光性树脂组合物,即使使用现有文献中提出的溶剂,也无法满足再溶解性,在利用狭缝涂布法涂布了专利文献4中记载的感光性树脂组合物的涂膜中,容易产生因干燥固化物导致的缺陷。
本发明的目的在于,提供一种负型感光性树脂组合物以及使用其的分隔壁和黑色矩阵,所述负型感光性树脂组合物能够制造高浓度含有颜料的、遮光性高的黑色矩阵,且溶解其自身的干燥固化物的再溶解性高、在利用狭缝涂布法得到的涂膜中不产生缺陷,进而具有可利用狭缝涂布法进行涂布的粘度。另外本发明的目的在于,提供具有通过将该感光性树脂组合物固化而形成的、遮光性高的分隔壁的光学元件。
用于解决问题的方案
本发明提供具有以下[1]~[12]的构成的负型感光性树脂组合物、分隔壁、黑色矩阵以及光学元件。
[1]一种负型感光性树脂组合物,其特征在于,其包含碱可溶性树脂(A)、光聚合引发剂(B)、黑色着色剂(C)和溶剂(D),前述黑色着色剂(C)相对于前述组合物的总固体成分的含量超过20质量%,前述溶剂(D)以相对于前述溶剂(D)的总量为20~100质量%的比率包含溶剂(D1),所述溶剂(D1)为下式(1)所表示的化合物,
R1O(C2H4O)2R2 (1)
式(1)中,R1表示甲基,R2表示碳原子数2或3的烷基。
[2]根据[1]所述的负型感光性树脂组合物,其中,前述溶剂(D1)为二乙二醇乙基甲基醚。
[3]根据[1]或[2]所述的负型感光性树脂组合物,其中,前述溶剂(D)还以相对于前述溶剂(D)的总量为10~40质量%的比率包含溶剂(D2),所述溶剂(D2)为包含1个以上通过双键与氧原子键合的碳原子作为环的构成原子、且可以包含醚性氧原子作为环的构成原子的脂肪族环式化合物。
[4]根据[3]所述的负型感光性树脂组合物,其中,前述脂肪族环式化合物为环状酯或环状酮。
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