[发明专利]电离-真空测量单元

权利要求书

1. 一种电离-真空测量单元，其包括：

a)可抽真空的壳体(10)，其带有用于待测量的真空的测量接口(8)，

b)第一电极和第二电极(3, 4)，其彼此大致同轴地且相间隔地布置并且带有共同的轴线(7)，由此在这两个电极之间构造有测量室(20)，其与所述测量接口(8)连通地布置，其中，所述第一电极(3)形成外部电极并且其大致具有柱状的面，

c)电压源(16)，其与所述电极(3, 4)相连接，

d)电流测量器件(17)，其用于评估在所述电极(3, 4)之间构造的放电电流，其中，所述放电电流形成待测量的真空压力的函数，

e)至少一个永磁体环(1)，其包围所述电极(3, 4)的同轴组件，其带有大致径向于所述轴线取向的磁化方向(13)且带有包围该永磁体环(1)的软磁轭(2)，

其特征在于，所述轭(2)在轴向上在两侧被引导远离所述永磁体环(1)并且在与所述永磁体环(1)的预设的间距(d)之后在两侧上在径向上朝向所述轴线(7)和所述第一电极(3)来引导，其中，该第一电极(3)形成所述电极(3, 4)的同轴组件的处在外面的电极，这样使得所述轭(2)在两侧且与所述永磁体环(1)相间隔地构造两个环形的极(9a, b)，所述永磁体环(1)的场线的至少一部分经由所述极(9a, b)在所述测量室(20)内穿过所述第一电极(3)地闭合，其中，在所述测量室(20)内在所述第一电极(3)之上优选地构造有环形的隧道式的磁场(14)。

2. 根据权利要求1所述的测量单元，其特征在于，外部的所述电极(3)是阴极而内部的所述电极(4)是阳极。

3. 根据前述权利要求中任一项所述的测量单元，其特征在于，在所述轴线(7)所在的剖切平面中所述轭(2)至少部分地弧形地在径向上朝向所述第一电极(3)来引导。

4. 根据前述权利要求中任一项所述的测量单元，其特征在于，在所述轴线(7)所在的所述剖切平面中，所述轭(2)至少部分地弯曲地、优选地直角地在径向上朝向所述第一电极(3)来引导。

5. 根据前述权利要求中任一项所述的测量单元，其特征在于，在带有两个所述极(9a, b)的所述轭(2)内在轴向上彼此相间隔地布置有带有相反的磁化方向(13)的至少两个永磁体环(1)，其中，每个永磁体环对在所述第一电极(3)之上构造另外的环形的隧道式的磁场(14)。

6. 根据权利要求5所述的测量单元，其特征在于，在带有两个所述极(9a, b)的所述轭(2)内在轴向上彼此相间隔地布置有带有相反的磁化方向(13)的两个永磁体环(1)。

7. 根据前述权利要求中任一项所述的测量单元，其特征在于，所述壳体(10)不仅包围带有所述轭(2)的所述永磁体环(1)而且包围这两个电极(3, 4)。

8. 根据权利要求7所述的测量单元，其特征在于，所述轭(2)形成所述壳体(10)的部分。

9. 根据前述权利要求1至6中任一项所述的测量单元，其特征在于，所述壳体(10)布置在所述第一电极(3)与带有所述轭(2)的所述永磁体环(1)之间，这样使得所述永磁体环(1)和所述轭(2)与真空分离地布置。

10. 根据前述权利要求1至6中任一项所述的测量单元，其特征在于，所述第一电极(3)构造为壳体(10)。

11. 根据前述权利要求中任一项所述的测量单元，其特征在于，至少一个所述永磁体环(1)在轴向上在所述轭(2)内相对所述极(9a, b)不等距地来布置。

12. 根据前述权利要求中任一项所述的测量单元，其特征在于，至少一个所述永磁体环(1)在轴向上在所述轭(2)内相对所述极(9a, b)可移动地来布置。

13. 根据前述权利要求中任一项所述的测量单元，其特征在于，在径向上指向所述轴线(7)，在所述永磁体环(1)的处在里面的极的区域中布置有软磁的导引器件(6)。

14. 根据前述权利要求中任一项所述的测量单元，其特征在于，在径向上指向所述轴线(7)，在所述轭(2)的处在里面的极(9a, b)中的至少一个的区域中布置有铁磁的导引器件(5a, 5b)。