[发明专利]具有孔口的抛光垫

权利要求书

1.一种用于抛光衬底的抛光设备，所述抛光设备包括：

抛光垫，所述抛光垫具有抛光表面和背面，所述抛光表面包括槽图案；

孔口，所述孔口从所述背面穿透到所述抛光表面设置在所述抛光垫中；和

粘合片，所述粘合片设置在所述抛光垫的所述背面上而不是所述孔口中，所述粘合片在所述抛光垫的所述背面提供用于所述孔口的不可渗透的密封。

2.根据权利要求1所述的抛光设备，其中，所述粘合片包括设置在所述抛光垫的所述背面上的丙烯酸胶层和设置在所述丙烯酸胶层上的聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）层。

3.根据权利要求2所述的抛光设备，其中，所述粘合片还包括与所述丙烯酸胶层相对地设置在所述PET层上的橡胶粘结剂层。

4.根据权利要求3所述的抛光垫，其中，所述橡胶粘结层用于将所述抛光垫粘附到化学机械抛光工具的压板上。

5.根据权利要求1所述的抛光设备，其中，所述孔口具有侧壁，所述侧壁具有带坡道的斜坡特征结构，以提供所述孔口的在所述抛光主体的所述背面的最窄区域和所述孔口的在所述抛光主体的所述抛光表面的最宽区域。

6.根据权利要求4所述的抛光设备，其中，所述多个槽中的一个或多个槽被所述孔口中断且与所述斜坡特征结构的坡道平行。

7.根据权利要求4所述的抛光设备，其中，所述多个槽中的一个或多个槽被所述孔口中断且与所述斜坡特征结构的坡道垂直。

8.根据权利要求1所述的抛光设备，其中，所述槽图案的第一槽是在所述孔口的第一侧壁与所述孔口连续但与所述孔口的第二侧壁不连续的周向槽，并且其中所述槽图案的第二槽在所述第二侧壁与所述孔口连续。

9.根据权利要求8所述的抛光设备，其中，所述第二侧壁与所述第一侧壁相对，并且所述第二槽是在所述第一侧壁与所述孔口不连续的周向槽。

10.根据权利要求9所述的抛光设备，其中，所述槽图案包括与所述孔口的所述第一侧壁平行的转向槽或与所述孔口的所述第二侧壁平行的转向槽中的至少一者。

11.根据权利要求10所述的抛光设备，其中，所述槽图案包括与所述孔口的所述第一侧壁平行的转向槽和与所述孔口的所述第二侧壁平行的转向槽。

12.根据权利要求8所述的抛光设备，其中，所述第二侧壁与所述第一侧壁垂直，并且所述第二槽是径向槽。

13.根据权利要求8所述的抛光设备，其中，所述第一槽具有在所述第一侧壁朝所述孔口倾斜的斜坡特征结构，并且所述第二槽具有在所述第二侧壁朝所述孔口倾斜的斜坡特征结构。

14.根据权利要求8所述的抛光设备，其中，所述孔口包括一个或多个圆角。

15.根据权利要求1所述的抛光设备，其中，所述槽图案的第一槽是在所述孔口的第一侧壁与所述孔口连续的第一径向槽，所述多个槽中的第二槽是在所述孔口的所述第二侧壁与所述孔口连续的第二径向槽，并且所述第一侧壁与所述第二侧壁相对。

16.根据权利要求15所述的抛光设备，其中，所述第一径向槽与所述第二径向槽对齐。

17.根据权利要求15所述的抛光设备，其中，所述第一径向槽与所述第二径向槽交错。

18.根据权利要求15所述的抛光设备，其中，所述第一槽具有在所述第一侧壁朝所述孔口倾斜的斜坡特征结构，并且所述第二槽具有在所述第二侧壁朝所述孔口倾斜的斜坡特征结构。

19.根据权利要求15所述的抛光设备，其中，所述孔口包括一个或多个圆角。

20.根据权利要求1所述的抛光设备，其中，所述粘合片充分透明以透过所述粘合片和所述孔口进行光学监视。

21.根据权利要求20所述的抛光设备，其中，所述粘合片用于将所述抛光垫粘附到压板上并且保护与所述压板联接的光学监视器件的石英激光器部位。

22.根据权利要求1所述的抛光设备，其中，所述孔口的形状适合允许浆体在化学机械抛光操作期间从所述孔口涌流。

23.根据权利要求1所述的抛光设备，其中，所述抛光垫是包括热固性聚氨酯材料的均质抛光主体。