[发明专利]具有通过磁控管溅射的银层的镜子

权利要求书

1.用于制造镜子的方法，该镜子在295-2500nm具有高于85%的反射率，该反射率根据ISO 9050标准在空气质量1.5时进行测量，该方法包括在包含稀有气体的沉积气氛中从银靶通过磁控管阴极溅射在基材上沉积银层，特征在于沉积气氛的压力乘以在靶和基材之间的距离的乘积为2.5-6 Pa.cm，并且银层的沉积时间使得银层具有100-200纳米的厚度。

2.根据权利要求1的方法，特征在于该沉积使用0.2-1.1瓦/cm²基材的面功率密度进行实施。

3.根据权利要求2的方法，特征在于该银层的沉积的开端使用0.2-0.7瓦/cm²基材的面功率密度进行实施。

4.根据权利要求1-3任一项的方法，特征在于该沉积气氛的压力为0.05Pa至3Pa。

5.根据权利要求1-3任一项的方法，特征在于稀有气体的分压占该沉积气氛的压力的99%以上。

6.根据权利要求1-3任一项的方法，特征在于在靶和基材之间的最小距离为5至20cm。

7.根据权利要求1-3任一项的方法，特征在于，在沉积银层之前，通过磁控管阴极溅射将包含钛或者包含镍铬合金的粘附层沉积在基材上。

8.根据权利要求7的方法，特征在于钛是至少部分被氧化的。

9.根据权利要求7的方法，特征在于镍铬合金是至少部分被氧化的。

10.根据权利要求1-3任一项的方法，特征在于在沉积银层之后，通过磁控管阴极溅射沉积至少一个保护层，其包含来自Ti、Si、Sn、Zn、Mo、W、Hf、Cu组的至少一种元素，所述元素为金属形式或者氧化形式或者氮化形式。

11.根据权利要求1-3任一项的方法，特征在于多个基材连续地在充当阴极的由银制成的固定靶的下方行进。

12.根据权利要求1-3任一项的方法，特征在于基材由无机玻璃支持。

13.包含根据权利要求1-12任一项的方法制备的银层的镜子，其在295-2500nm具有至少80%的根据ISO 9050标准在空气质量1.5时测量的反射率。

14.根据权利要求13的镜子，特征在于该基材由具有1.5-8mm的厚度的无机玻璃制成。

15.根据权利要求14的镜子，特征在于对于3.2mm的玻璃厚度，玻璃的能量传输高于85%。

16.根据权利要求13-15之一的镜子用于通过使太阳光线偏转向热量收集器来收集太阳能的用途。