[发明专利]光学反射元件

权利要求书

1.一种光学反射元件，其具备：

反射镜；

通过将所述反射镜置于其间且相互位于相反侧的第一连接部和第二连接部而与所述反射镜连接的框体；

为了通过振动使所述反射镜以旋转轴为中心旋转，而将所述框体置于其间且相互在相反侧与所述框体结合的一对驱动梁，

所述框体的刚性比所述反射镜的刚性高，

所述旋转轴与连结所述第一连接部和所述第二连接部的线段正交。

2.根据权利要求1所述的光学反射元件，其中，

所述反射镜通过所述第一连接部和所述第二连接部而与所述框体一体形成。

3.根据权利要求1或2所述的光学反射元件，其中，

所述反射镜具有对光进行反射的表面和所述表面的相反侧的背面，

所述光学反射元件还具备在所述反射镜的所述背面设置的加强肋。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的光学反射元件，其中，

所述一对驱动梁与所述框体连接。

5.根据权利要求4所述的光学反射元件，其中，

所述一对驱动梁在所述旋转轴处与所述框体连接。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的光学反射元件，其中，

还具备：

设置在所述驱动梁与所述框体之间，在与所述旋转轴不同的位置处与所述一对驱动梁分别连接，且沿着所述框体延伸的一对外框；

设置在所述驱动梁与所述框体之间，并将所述一对外框与所述框体分别连结的一对连结部。

7.根据权利要求6所述的光学反射元件，其中，

所述一对连结部在所述旋转轴处与所述框体连接。

8.根据权利要求1～4中任一项所述的光学反射元件，其中，

所述驱动梁在与所述旋转轴不同的位置处与所述框体连接，

所述第一连接部的刚性与所述第二连接部的刚性不同。

9.根据权利要求1～4中任一项所述的光学反射元件，其中，

所述驱动梁在与所述旋转轴不同的位置处与所述框体连接，

在所述第一连接部处所述反射镜与所述框体连接的面积与在所述第二连接部处所述反射镜与所述框体连接的面积不同。