[发明专利]具有芴结构的树脂及光刻用下层膜形成材料

权利要求书

1.一种树脂，其具有下述通式(1)所示的结构，

通式(1)中，R₃和R₄各自独立地是苯环或萘环，芴骨架或(二)苯并芴骨架的桥头位的碳原子与其它的芳香环的碳原子键合，芴骨架或(二)苯并芴骨架的芳香环的碳原子与其它的芴骨架或(二)苯并芴骨架的桥头位的碳原子键合。

2.根据权利要求1所述的树脂，其中，所述通式(1)所示的结构为选自由下述通式(2)、通式(3)、通式(4)和通式(5)所示的结构组成的组中的至少一种，

通式(2)中，X各自独立地表示碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为6～10的芳基或环己基，p表示0～3的数，A表示0～2的数，R₃和R₄的定义与所述通式(1)中说明的相同，

通式(3)中，X、p、R₃和R₄的定义与所述通式(2)中说明的相同，

通式(4)中，Y’各自独立地表示氢原子、碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为6～10的芳基或环己基，Z各自独立地表示碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为6～10的芳基或环己基，q表示1～3的数，r表示0～3的数，B表示0～2的数，R₃和R₄的定义与所述通式(1)中说明的相同，在此，Y’和Z存在多个时，各自可以相同或不同，另外，Y’可以为与树脂内的X、Y’、Z或芳香环形成直接键合的单键，

通式(5)中，Y’、Z、q、r、R₃和R₄的定义与所述通式(4)中说明的相同。

3.根据权利要求1或2所述的树脂，其中，碳浓度为80质量%以上。

4.一种制造方法，其为权利要求1～3中任一项所述的树脂的制造方法，该制造方法包含使含有下述通式(6)所示的化合物的原料在催化剂的存在下反应的工序，

通式(6)中，R₁和R₂各自独立地是氢原子或羟基，R₁和R₂可以一起作为一个取代基，此时是氧原子，R₃和R₄各自独立地是苯环或萘环。

5.根据权利要求4所述的制造方法，其中，所述催化剂为选自由盐酸、硫酸、磷酸、草酸、丙二酸、琥珀酸、己二酸、癸二酸、柠檬酸、富马酸、马来酸、甲酸、对甲苯磺酸、甲磺酸、三氟乙酸、二氯乙酸、三氯乙酸、三氟甲磺酸、苯磺酸、萘磺酸、萘二磺酸、氯化锌、氯化铝、氯化铁、三氟化硼、硅钨酸、磷钨酸、硅钼酸、磷钼酸、氢溴酸和氢氟酸组成的组中的至少一种。

6.根据权利要求4或5所述的制造方法，其中，作为所述原料，还含有选自由下述通式(7)、通式(8)、通式(9)和通式(10)所示的化合物组成的组中的至少一种，

通式(7)中，X、p、A的定义与所述通式(2)中说明的相同，

通式(8)中，X、p的定义与所述通式(2)中说明的相同，

通式(9)中，Y各自独立地表示氢原子、碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为6～10的芳基或环己基，Z、q、r、B的定义与所述通式(4)中说明的相同，

通式(10)中，Y、Z、q、r的定义与所述通式(9)中说明的相同，在此Y和Z存在多个时，各自可以相同或不同。

7.根据权利要求4～6中任一项所述的制造方法，其中，所述通式(6)所示的化合物为选自由芴、芴酮、芴醇、苯并芴、苯并芴酮、苯并芴醇、二苯并芴、二苯并芴酮和二苯并芴醇组成的组中的至少一种。

8.根据权利要求6或7所述的制造方法，其中，所述通式(7)所示的化合物为选自由苯、甲苯、二甲苯、三甲基苯、萘、甲基萘、二甲基萘、蒽、甲基蒽和二甲基蒽组成的组中的至少一种。

9.根据权利要求6～8中任一项所述的制造方法，其中，所述通式(8)所示的化合物为选自由菲、甲基菲和二甲基菲组成的组中的至少一种。