[发明专利]静压气体轴承及使用该静压气体轴承的直动引导装置

权利要求书

1.一种静压气体轴承，其特征在于，包括：

轴承基体，该轴承基体具有基部、圆筒突出部及供气通路，所述圆筒突出部突设于所述基部的一方的面的外周缘，所述供气通路在一端开口于基部的一方的面上，在另一端开口于基部的外周面上；以及

合成树脂制的轴承体，该轴承体具有圆环状凹部、环状凹槽及多个空气吹出孔，所述圆环状凹部形成于与基部的一方的面相对的轴承体的一方的面上，所述环状凹槽在轴承体的另一方的面上开口，所述多个空气吹出孔形成为自成节流孔，其在一端与环状凹槽连通，在另一端开口于圆环状凹部的圆环状底面，

所述轴承体使与一方的面邻接的外周面与基部的圆筒突出部的内表面嵌合，并在该嵌合部进行粘接从而与轴承基体一体化，环状凹槽具有至少0.3mm的宽度、至少0.01mm的深度，空气吹出孔在其一端具有至少30μm的直径，在圆环状凹部与环状凹槽之间形成自成节流孔。

2.如权利要求1所述的静压气体轴承，其特征在于，

环状凹槽具有0.3～1.0mm或0.3～0.7mm的宽度、0.01～0.05mm或0.01～0.03mm的深度，所述空气吹出孔在其一端具有30～120μm的直径。

3.如权利要求1或2所述的静压气体轴承，其特征在于，

环状凹槽及空气吹出孔分别通过激光加工而形成。

4.如权利要求1至3中任一项所述的静压气体轴承，其特征在于，

在轴承基体的另一方的面上形成有球体受压凹部。

5.如权利要求4所述的静压气体轴承，其特征在于，

球体受压凹部具有在轴承基体的另一方的面上开口的截头圆锥凹部。

6.如权利要求4所述的静压气体轴承，其特征在于，

球体受压凹部具有在轴承基体的另一方的面上开口的凹球部。

7.如权利要求4所述的静压气体轴承，其特征在于，

在轴承基体的另一方的面上形成有在该另一方的面上开口的圆柱状凹部，在该圆柱状凹部中嵌合固定有块体，球体受压凹部具有截头圆锥面，该截头圆锥面在处于轴承基体的另一方的面一侧的所述块体的一方的面上开口并形成于该块体。

8.如权利要求4所述的静压气体轴承，其特征在于，

在轴承基体的另一方的面上形成有在该另一方的面上开口的圆柱状凹部，在该圆柱状凹部中嵌合固定有块体，球体受压凹部具有凹球面，该凹球面在处于轴承基体的另一方的面一侧的所述块体的一方的面上开口并形成于该块体。

9.如权利要求1至8中任一项所述的静压气体轴承，其特征在于，

轴承体除了环状凹槽之外，还包括：

大径环状凹槽，该大径环状凹槽形成于轴承体的另一方的面上，并在环状凹槽的外侧围住该环状凹槽；

多个第一放射状凹槽，这些第一放射状凹槽的一方的端部开口于所述环状凹槽，另一方的端部开口于所述大径环状凹槽；

小径环状凹槽，该小径环状凹槽形成于所述环状凹槽的内侧；以及

多个第二放射状凹槽，这些第二放射状凹槽的一方的端部开口于环状凹槽，另一方的端部开口于小径环状凹槽。

10.一种直动引导装置，其特征在于，

在具有上引导面及两侧引导面的引导构件的外侧配置有横截面呈コ字形的可动台，该可动台具有与上引导面相对的上板及与两侧引导面相对的一对侧板，各球销使球体朝向内侧地立设于该可动台的上板的下表面及侧板各自的内表面，在该球销与引导构件的上引导面及两侧引导面之间，配置有权利要求1至9中任一项所述的静压气体轴承，该静压气体轴承使球体受压凹部与所述球销的球体滑动接触，并使轴承体与引导构件的上引导面及两侧引导面相对。