[发明专利]高通量激光烧蚀方法和用于在太阳能电池中形成接触孔的结构

权利要求书

1.一种制造太阳能电池的方法，所述方法包括：

形成多个线性基极扩散区的条或散布的基极扩散区的条中的至少一者，所述多个线性基极扩散区的条或散布的基极扩散区的条中的至少一者被构造为收集所述太阳能电池中的多数电荷载流子；

在所述多个线性基极扩散区的条或散布的基极扩散区的条中的至少一者上和多个发射极扩散区上形成层间介质层；

使用激光以形成通过所述层间介质层的多个接触孔，从而暴露出在所述多个线性基极扩散区的条或散布的基极扩散区的条中的至少一者中的一个线性基极扩散区的条或点中的至少一者；并且

在所述的一个线性基极扩散区的条或点中的至少一者上形成金属接触，所述金属接触通过所述多个接触孔中的接触孔电连接至所述的一个线性基极扩散区的条或点中的至少一者，

其中，在所述层间介质层上形成激光阻挡层，形成通过所述激光阻挡层中的单个开口和使用激光连续扫描形成所述层间介质层的多个接触孔，并且其中所述金属接触通过所述层间介质层和所述激光阻挡层中的单个开口电连接至所述的一个线性基极扩散区的条或点中的至少一者。

2.根据权利要求1所述的方法，其还包括在所述多个发射极扩散区中的一个发射极扩散区上形成另一金属接触，所述另一金属接触电连接至所述发射极扩散区。

3.根据权利要求2所述的方法，其中形成所述层间介质层还包括：

将所述层间介质层形成为介电层的叠堆。

4.根据权利要求3所述的方法，其中形成所述层间介质层还包括：

形成所述层间介质层，使得所述层间介质层包括氮化硅。

5.根据权利要求1所述的方法，其中形成所述激光阻挡层还包括：

形成所述激光阻挡层，使得所述激光阻挡层包括聚酰亚胺。

6.根据权利要求1所述的方法，其还包括：

通过湿蚀刻而在所述激光阻挡层中形成所述单个开口。

7.根据权利要求1所述的方法，其中形成所述金属接触还包括：

形成所述金属接触，使得所述金属接触具有比所述的一个线性基极扩散区的条的宽度更宽的宽度。

8.根据权利要求1所述的方法，其中形成所述金属接触还包括：

形成所述金属接触，使得所述金属接触延伸经过所述的一个线性基极扩散区的条的边缘，并直接在发射极扩散区上延伸。

9.一种根据权利要求1所述的方法制造的太阳能电池。

10.一种太阳能电池，其包括：

多个线性基极扩散区的条或散布的基极扩散区的条中的至少一者；

在所述多个线性基极扩散区的条或散布的基极扩散区的条中的至少一者上的层间介质层；

通过所述层间介质层的多个激光钻孔的接触孔，所述多个激光钻孔的接触孔暴露出在所述多个线性基极扩散区的条或散布的基极扩散区的条中的至少一者中的一个线性基极扩散区的条或点中的至少一者，所述多个激光钻孔的接触孔中的每一个具有至多40微米的直径；以及

金属接触，所述金属接触通过所述多个激光钻孔的接触孔中的激光钻孔的接触孔电连接至所述的一个线性基极扩散区的条或点中的至少一者，

其中，所述太阳能电池还包括在所述层间介质层与所述金属接触之间的激光阻挡层，形成通过所述激光阻挡层中的单个开口和使用激光连续扫描形成所述层间介质层的多个接触孔，所述金属接触通过所述层间介质层和所述激光阻挡层中的单个开口电连接至所述的一个线性基极扩散区的条或点中的至少一者。

11.根据权利要求10所述的太阳能电池，其还包括：

多个线性发射极扩散区的条；

电连接至所述多个线性发射极扩散区的条中的一个线性发射极扩散区的条的另一金属接触，所述另一金属接触通过所述层间介质层电连接至所述的一个线性发射极扩散区的条。