[发明专利]飞行时间型质量分析装置

权利要求书

1.一种飞行时间型质量分析装置，对离子进行加速而将该离子导入到飞行空间，检测在飞行于该飞行空间的期间根据质量电荷比而分离出的离子，该飞行时间型质量分析装置具备栅格状电极以形成使离子通过并且对该离子进行加速和/或减速的电场，该飞行时间型质量分析装置的特征在于，

上述栅格状电极是具有其开口短边方向的大小的2倍以上的厚度的构造体。

2.根据权利要求1所述的飞行时间型质量分析装置，其特征在于，

具有正交加速部以对离子进行初始加速，该正交加速部包括挤压电极、作为上述栅格状电极的第一栅格状电极以及隔着该第一栅格状电极配置在与上述挤压电极相反一侧的第二栅格状电极，

使离子依次通过上述第一栅格状电极以及上述第二栅格状电极从上述正交加速部射出而导入到飞行空间。

3.一种飞行时间型质量分析装置，对离子进行加速而将该离子导入到飞行空间，检测在飞行于该飞行空间的期间根据质量电荷比而分离出的离子，该飞行时间型质量分析装置具备栅格状电极以形成使离子通过并且对该离子进行加速和/或减速的电场，该飞行时间型质量分析装置的特征在于，

上述栅格状电极是通过以下方式形成的构造体：使多片导电性薄板以分别将间隔物用导电性构件夹在中间的方式进行层叠来一体化，并在与上述导电性薄板正交的平面上以规定间隔进行切断，其中，将上述间隔物用导电性构件的厚度设为开口宽度，将上述导电性薄板的厚度设为栅格状构造的格棂部的宽度，将上述切断的间隔设为该格棂部的厚度。

4.一种飞行时间型质量分析装置，对离子进行加速而将该离子导入到飞行空间，检测在飞行于该飞行空间的期间根据质量电荷比而分离出的离子，该飞行时间型质量分析装置具备栅格状电极以形成使离子通过并且对该离子进行加速和/或减速的电场，该飞行时间型质量分析装置的特征在于，

上述栅格状电极是通过以下方式形成的构造体：使多片导电性薄板以分别将间隔物用导电性构件夹在中间的方式进行层叠来一体化，其中，将上述间隔物用导电性构件的厚度设为开口宽度，将上述导电性薄板的厚度设为栅格状构造的格棂部的宽度，将上述导电性薄板的一边的大小设为该格棂部的厚度。

5.根据权利要求3或4所述的飞行时间型质量分析装置，其特征在于，

通过扩散接合使上述导电性薄板与上述间隔物用导电性构件一体化。

6.根据权利要求3至5中的任一项所述的飞行时间型质量分析装置，其特征在于，

具有包括挤压电极和上述栅格状电极的正交加速部以对离子进行初始加速，通过该栅格状电极使离子从该正交加速部射出而导入到飞行空间。

7.根据权利要求3至6中的任一项所述的飞行时间型质量分析装置，其特征在于，

上述栅格状电极具有保持部，该保持部在上述栅格状电极的开口的长边方向上隔开该开口，该保持部是由夹在相邻的导电性薄板之间的间隔物用导电性构件形成的。

8.根据权利要求7所述的飞行时间型质量分析装置，其特征在于，

上述保持部的面向上述开口内的空间的壁面被设为与通过该开口的离子团的行进方向一致。