[发明专利]改进的复合吸气剂

权利要求书

1.一种复合吸气剂体系，它包括至少一种NEG材料和至少一种聚酰亚胺和/或聚酰胺基化合物，其特征在于至少80%面向周围环境的NEG材料的表面用所述聚酰亚胺/聚酰胺基化合物涂布，和所述涂层的厚度为0.1至1mm。

2.权利要求1的复合吸气剂体系，其中所述涂层的厚度为0.2至0.5mm。

3.权利要求1的复合吸气剂体系，其中面向环境的NEG材料表面被完全涂布。

4.权利要求1的复合吸气剂体系，其中所述聚酰亚胺或聚酰胺基化合物涂层是均匀的。

5.权利要求1的复合吸气剂体系，其中所述聚酰亚胺化合物选自聚(l,2,3-三甲基-2,3-二氢-l,6-茚二基-l,4-亚苯基-乙烯),聚3,3,4,4'二苯甲酮四羧酸二酐联苯胺，聚3,3,4,4'二苯甲酮四羧酸二酐苯二胺，聚3,3,4,4'二苯甲酮四羧酸二酐二氨基二苯甲酮，聚3,3,4,4'二苯甲酮四羧酸二酐二氨基茋，聚(均苯四酸二酐联苯胺)。

6.权利要求1的复合吸气剂体系，其中所述聚酰胺化合物选自聚(4,4'-氧基二亚苯基-均苯四酸酰亚胺)，聚[亚氨基(l,6-二氧代-l,6-己二基)亚氨基-1,6己二基]聚[亚氨基(l-氧代-1,11-十一烷二基)]。

7.权利要求1的复合吸气剂体系，其中所述NEG材料为粒度测定等于或小于500μm的粉末形式。

8.权利要求1的复合吸气剂体系，其中所述NEG为厚度为0.5μm至300μm的薄膜形式。

9.权利要求8的复合吸气剂体系，其中所述NEG薄膜的厚度为1μm至200μm。

10.权利要求1的复合吸气剂体系，其中所述NEG材料包括Zr、Ti、Y中的至少一种或者它们的结合物与合金。

11.权利要求10的复合吸气剂体系，其中所述NEG材料包括Zr,Ti,Y与下述中的一种或更多种的结合物和合金：V,Al,Ni,Fe,Si,Sb,Co,Mn，和其中Zr,Ti,Y中的至少一种的重量比等于或高于20wt%。

12.权利要求10的复合吸气剂体系，其中所述NEG材料的活化温度等于或低于450℃。

13.权利要求12的复合吸气剂体系，其中活化温度等于或低于450℃的所述NEG材料包括含下述的锆结合物与合金：

·至少50wt%Zr，当NEG合金是二元合金或结合物时，

·至少20wt%Zr，当NEG含有三种或更多种元素时。

14.权利要求13的复合吸气剂体系，其中所述NEG材料包括至少5wt%选自Co,Fe,V中的一种元素。

15.权利要求14的复合吸气剂体系，其中所述NEG材料包括至少1wt%混合稀土(MM)。

16.一种气敏器件，它含有前述任何一项权利要求的复合吸气剂体系。

17.权利要求16的气敏器件，其中所述器件在真空下密封。

18.权利要求16的气敏器件，其中所述器件在惰性气体氛围下密封。

19.权利要求16的气敏器件，其中在该器件内的压力比大气压低至少100mbar。