[发明专利]过氟化物的分解处理方法以及处理装置

权利要求书

1.一种过氟化物的处理方法，其特征在于，包括：

(1)对包含过氟化物的废气、以及水或水蒸气进行预热的工序；

(2)对在所述工序(1)中预热了的废气、以及水或水蒸气进一步加热的工序；

(3)通过利用催化剂分解在所述工序(2)中被加热了的废气所包含的过氟化物，来产生包含酸性气体的分解气体的工序；

(4)通过与所述工序(1)的废气、以及水或水蒸气热交换来冷却在所述工序(3)中产生的分解气体的工序；和

(5)通过与钙盐接触来除去在所述工序(4)中冷却了的分解气体所包含的酸性气体的工序，

所述工序(1)包括通过与在所述工序(3)中产生的分解气体的热交换来进行的预热，并且使包含过氟化物的废气、以及水或水蒸气同时与在所述工序(3)中产生的分解气体，以所述废气、以及水或水蒸气流动的传热管的与所述分解气体相接的表面成为200℃以上的方式进行热交换，

所述工序(1)通过将混合了包含过氟化物的废气、以及水或水蒸气的混合气体与在所述工序(3)中产生的分解气体热交换来进行。

2.根据权利要求1所述的过氟化物的处理方法，其特征在于，

所述工序(5)使用填充有钙盐的酸性气体除去装置进行。

3.根据权利要求2所述的过氟化物的处理方法，其特征在于，

从所述酸性气体除去装置排出与所述酸性气体反应过的钙盐，并且，

向所述酸性气体除去装置供给钙盐。

4.根据权利要求3所述的过氟化物的处理方法，其特征在于，

所述钙盐的排出以及供给，基于通过所述酸性气体除去装置除去了所述酸性气体后的分解气体所包含的酸性气体的浓度来进行。

5.根据权利要求3所述的过氟化物的处理方法，其特征在于，

所述钙盐的排出以及供给，基于填充到所述酸性气体除去装置内的钙 盐的温度来进行。

6.一种过氟化物的处理装置，其特征在于，包括：

加热器，其对包含过氟化物的废气、以及水或水蒸气进行加热；

催化剂层，其将所述过氟化物分解；

酸性气体除去装置，其使通过所述过氟化物的分解而产生的分解气体中的酸性气体与钙盐接触从而将其除去；和

热交换器，其通过使所述废气、以及水或水蒸气同时与所述分解气体，以所述废气、以及水或水蒸气流动的传热管的与所述分解气体相接的表面成为200℃以上的方式热交换，来对所述废气、以及水或水蒸气进行预热，并且冷却所述分解气体，

所述热交换器是对混合气体和分解气体热交换的热交换器，所述混合气体混合了包含过氟化物的废气、以及水或水蒸气，所述分解气体是通过分解过氟化物而产生的。

7.根据权利要求6所述的过氟化物的处理装置，其特征在于，所述酸性气体除去装置具备：

钙盐排出器，其将与所述分解气体所包含的酸性气体反应过的钙盐从所述酸性气体除去装置排出；和

钙盐供给器，其供给钙盐。

8.根据权利要求7所述的过氟化物的处理装置，其特征在于，还包括：

酸性气体浓度检测器，其检测从所述酸性气体除去装置排出的分解气体所包含的酸性气体的浓度；和

控制装置，其基于该酸性气体浓度检测器的测定浓度控制所述钙盐排出器以及所述钙盐供给器。

9.根据权利要求7所述的过氟化物的处理装置，其特征在于，还包括：

温度检测器，其检测填充到所述酸性气体除去装置中的钙盐的温度；和

控制装置，其基于该温度检测器的测定温度控制所述钙盐排出器以及所述钙盐供给器。