[发明专利]具有复合塑胶部分的载体头部

权利要求书

1.一种化学机械抛光头部，包含：

基部组件，所述基部组件包含至少一部件，所述至少一部件由具有与铝大致相等或比铝更高的拉伸模量的复合塑胶形成；

扣环，所述扣环固定于所述基部组件；以及

柔性隔膜，所述柔性隔膜固定于所述基部组件以在所述基部组件与所述柔性隔膜的上表面之间形成可增压腔室，所述柔性隔膜的下表面提供基板安装表面。

2.如权利要求1所述的载体头部，其中所述复合塑胶为被玻璃填充的塑胶。

3.如权利要求2所述的载体头部，其中所述复合塑胶为被玻璃填充的聚苯硫醚(PPS)或被玻璃填充的聚醚醚酮(PEEK)。

4.如权利要求1所述的载体头部，其中所述复合塑胶包含聚苯硫醚(PPS)或聚醚醚酮(PEEK)。

5.如权利要求1所述的载体头部，其中所述扣环包含不锈钢的上部分以及塑胶的下部分。

6.如权利要求1所述的载体头部，其中所述基部组件包含不锈钢夹环。

7.如权利要求6所述的载体头部，其中所述基部组件包含由聚醚醚酮组成的夹环。

8.如权利要求7所述的载体头部，其中所述柔性隔膜的一部分被夹在所述不锈钢夹环与由聚醚醚酮组成的所述夹环之间。

9.如权利要求7所述的载体头部，其中所述基部组件包含由聚苯硫醚(PPS)组成的夹环。

10.如权利要求9所述的载体头部，其中所述柔性隔膜的一部分被夹在由聚醚醚酮组成的所述夹环与由聚苯硫醚(PPS)组成的所述夹环之间。

11.一种抛光系统，所述抛光系统包含：

抛光垫支撑件，所述抛光垫支撑件支撑具有抛光表面的抛光垫；

载体头部，所述载体头部具有基部组件以及对着抛光表面固持基板的柔性隔膜；以及

涡流监测系统，所述涡流监测系统包括传感器头部，所述传感器头部被放置以产生穿过所述抛光垫且延伸进入所述载体头部的磁场，且其中所述基部组件包含至少一部件，所述至少一部件具有至少一部分放置于所述磁场中，且所述至少一部件由具有与铝大致相等或比铝更高的拉伸模量的复合塑胶形成。