[发明专利]用于在半导体基底中形成掺杂区域的掺杂剂油墨组合物，以及用于制造掺杂剂油墨组合物的方法

权利要求书

1.掺杂剂油墨组合物，包含：

由掺杂剂化合物和含硅化合物形成的掺杂剂-硅酸盐载体，其中所述掺杂剂化合物包含至少一个连接至13族元素或15族元素的烷基，和其中所述掺杂剂化合物和所述含硅化合物通过硅-氧-掺杂剂离子键连接在一起；和

至少一种溶剂。

2.权利要求1的掺杂剂油墨组合物，其中选择溶剂以配制选自喷墨油墨、丝网印刷糊和旋涂掺杂剂的产品。

3.权利要求1的掺杂剂油墨组合物，其中所述掺杂剂-硅酸盐载体和溶剂形成在室温下稳定至少两周的非水性混合物。

4.权利要求1的掺杂剂油墨组合物，其中所述掺杂剂化合物为磷酸烷基酯，并具有以下分子式：

(R¹O)(R²O)P(O)(OR³)

其中R¹、R²和R³各自为氢或具有1至20个碳原子的烃基。

5.权利要求1的掺杂剂油墨组合物，其中所述掺杂剂化合物为硼酸烷基酯，并具有以下分子式：

(R¹O)B(OR²)(OR³)

其中R¹、R²和R³各自为氢或具有1至20个碳原子的烃基。

6.掺杂剂油墨组合物，包含：

含有至少一个连接至15族元素的烷基的掺杂剂化合物；和

含硅化合物。

7.权利要求6的掺杂剂油墨组合物，其中所述含硅化合物具有以下分子式：

R¹O(Si(OR)₂O)_n(M¹M²SiO)_mOR²

其中R、R¹和R²各自为氢或具有1至10个碳原子的碳基团；和其中M¹和M²各自为氢、具有1至10个碳原子的碳基团，或羟基或具有1至10个碳原子的烷氧基。

8.权利要求6的掺杂剂油墨组合物，进一步包含沸点大于200℃的第一种溶剂，和沸点大于140℃的第二种溶剂。

9.权利要求6的掺杂剂油墨组合物，其中所述掺杂剂化合物和所述含硅化合物经由硅-氧-15族元素键连接在一起。

10.用于制造在半导体基底中形成掺杂区域的掺杂剂油墨组合物的方法，该包含：

提供包含至少一个连接至13族元素或15族元素的烷基的掺杂剂化合物；

提供含硅化合物；和

使掺杂剂化合物和含硅化合物混合，以及形成包括硅-氧-掺杂剂离子键的掺杂剂-硅酸盐载体。