[发明专利]热阵列系统

权利要求书

1.一种热系统，包括：

多个热元件；

控制系统，其具有多个电力节点，其中，每个热元件连接在所述多个电力节点的第一电力节点和第二电力节点之间，每个热元件与可寻址开关电串联，该可寻址开关经配置以激活和停用所述热元件。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述可寻址开关包括微处理器。

3.根据权利要求1所述的系统，其中，所述可寻址开关包括具有比较器和固态开关的电路。

4.根据权利要求1所述的系统，其中，所述可寻址开关由包括开关标识的信号激活。

5.根据权利要求1所述的系统，其中，所述信号是经由可寻址开关通过所述第一和第二电力节点接收。

6.根据权利要求5所述的系统，其中，所述可寻址开关经配置以基于所述信号的振幅来激活和停用所述加热器元件。

7.根据权利要求5所述的系统，其中，所述可寻址开关经配置以基于所述信号的调制来激活和停用所述热元件。

8.根据权利要求5所述的系统，其中，所述可寻址开关经配置以基于所述信号的占空比来激活和停用所述热元件。

9.根据权利要求5所述的系统，其中，所述可寻址开关经配置以基于所述信号上发射的载波信号来激活和停用所述热元件。

10.权利要求5的系统，其中，所述可寻址开关经配置以分析串行信号以确定开关标识命令。

11.根据权利要求1的系统，其中，所述信号通过无线通信接口从所述控制系统接受。

12.根据权利要求1所述的系统，其中，所述热元件是耗散元件。

13.根据权利要求12所述的系统，其中，所述热元件是电阻元件。

14.根据权利要求13所述的系统，其中，所述热元件是由具有温度依赖性电阻的导电材料构成。

15.根据权利要求14所述的系统，其中，所述控制系统经配置以测量所述电阻元件的电阻来计算所述电阻元件的温度。

16.一种加热器，包括：

基板；

基底加热器，其固定到所述基板；

衬底，其固定到所述基底加热器；

调谐加热器，其固定在所述衬底上，所述调谐加热器包括多个加热器元件；

卡盘，其固定到所述调谐加热器；和

控制系统，其具有多个电力节点，其中，每个加热器元件连接在所述多个电力节点的第一电力节点和第二电力节点之间，每个加热器元件与可寻址开关电串联，所述开关经配置以激活和停用所述加热器元件。

17.根据权利要求16所述的系统，其中，所述可寻址开关包括微处理器。

18.根据权利要求16所述的系统，其中，所述可寻址开关包括具有比较器和固态开关的电路。

19.根据权利要求16所述的系统，其中，所述可寻址开关由包括开关标识的信号激活。

20.根据权利要求16所述的系统，其中，所述信号经由所述可寻址开关通过所述第一和第二电力节点接收。

21.根据权利要求20所述的系统，其中，所述可寻址开关经配置以基于所述信号的振幅来激活和停用所述加热器元件。

22.根据权利要求20所述的系统，其中，所述可寻址开关经配置以基于所述信号的调制来激活和停用所述加热器元件。

23.根据权利要求20所述的系统，其中，所述可寻址开关经配置以基于所述信号的占空比来激活和停用所述加热器元件。

24.根据权利要求20所述的系统，其中，所述可寻址开关经配置以基于所述信号上发射的载波信号来激活和停用所述加热器元件。

25.根据权利要求20所述的系统，其中，所述可寻址开关经配置以分析串行信号来确定开关标识命令。