[发明专利]采用电泳技术制备致密薄膜的方法

权利要求书

1.用于在基底上沉积包含至少一种材料Px的致密薄膜的方法，其中：

(a)提供含有至少一种材料Px的纳米颗粒的胶体悬浮液，其中所述至少一种材料Px的纳米颗粒的直径D₅₀小于100nm；

(b)将所述基底与反电极一起浸渍在所述胶体悬浮液中；

(c)在所述基底和所述反电极之间施加电压，以进行电泳沉积从而在基底上形成致密膜，所述膜包含所述至少一种材料Px的纳米颗粒；

(d)干燥所述致密膜；

(e)任选地，对所述膜进行机械固结；

(f)在温度T_R下进行热固结，温度T_R不超过在最低温度下熔化的材料Px的熔化或分解温度的0.7倍，其中熔化或分解温度以℃表示，并且所得致密薄膜具有低于20％的孔隙率，

应当知道，步骤(e)和(f)可以同时进行，或者可以颠倒顺序进行。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述至少一种材料Px的纳米颗粒的直径D₅₀小于30nm。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述至少一种材料Px的纳米颗粒的直径D₅₀小于10nm。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，所述温度不超过在最低温度下熔化的材料Px的熔化或分解温度的0.5倍，其中熔化或分解温度以℃表示。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中所述温度不超过在最低温度下熔化的材料Px的熔化或分解温度的0.3倍，其中熔化或分解温度以℃表示。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中所述温度在160℃至600℃之间。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中所述温度在160℃至400℃之间。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，在步骤(c)中所得电泳沉积物的厚度小于10μm。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，在步骤(c)中所得电泳沉积物的厚度小于5μm。

10.根据权利要求1至3任一项所述的方法，其中，所述胶体悬浮液包含多种不同材料的纳米颗粒。

11.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，所述胶体悬浮液还包含至少一种材料Mx的颗粒，该颗粒可以但不必须是纳米颗粒。

12.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，以绝对值表示，所述胶体悬浮液的ζ电势大于40mV。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，以绝对值表示，所述胶体悬浮液的ζ电势大于60mV。

14.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，所述胶体悬浮液含有空间位阻稳定剂或静电稳定剂。

15.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，所述胶体悬浮液不含空间位阻稳定剂或静电稳定剂。

16.根据权利要求1至3任一项所述的方法，其中，所述机械固结在10至100MPa之间的压力下进行。

17.根据权利要求16所述的方法，其中，所述机械固结在10至50MPa之间的压力下进行。

18.根据权利要求16所述的方法，其中，所述机械固结在在15至35MPa之间的压力下进行。