[发明专利]弹性表面波传感器

说明书

技术领域

本发明涉及弹性表面波传感器。

本申请基于2011年11月1日申请的专利申请2011-240492号、于2011年11月1日申请的专利申请2011-240493号以及于2011年12月22日申请的专利申请2011-281611号而主张优先权，并将其内容引用到本文中。

背景技术

作为用于电子电路的带通滤波器之一，已知有SAW(Surface Acoustic Wave：声表面波，弹性表面波)滤波器。SAW滤波器由于小型且具有良好的衰减特性，因而被用于以手机为代表的各种电子设备。SAW滤波器例如具有用于在压电元件基板上使弹性表面波(表面弹性波)产生，并检测弹性表面波的梳齿型电极(Interdigital Transducer，IDT：叉指换能器)。

作为有关SAW滤波器的技术，例如在专利文献1中公开有一种弹性表面波传感器，具备在压电性基板上形成于构成发送电极部的IDT与构成接收电极部的IDT之间、作为检体的液体被导入的检测区域(成为传感器表面的区域)。

在该专利文献1中，公开了一种具备如下部分的弹性表面波传感器：压电性基板；收发电极部，包括以规定的图案形成于所述压电性基板的表面上，进行弹性表面波发送的发送电极部和以规定的图案形成于所述压电性基板的表面上，进行所述弹性表面波接收的接收电极部；检测区域，形成于所述发送电极部与所述接收电极部之间，作为检体的液体被导入；以及密封结构，以从外部密闭的方式覆盖所述收发电极部。该弹性表面波传感器根据作为被导入所述检测区域的检体的液体，弹性表面波从发送电极部向接收电极部的传播特性产生变化。并且，在该弹性表面波传感器中，在所述发送电极部与所述检测区域之间以及所述检测区域与所述接收电极部之间中的至少一方具备由金属形成的、用于使所述弹性表面波的能量集中于所述压电性基板的表面的虚拟电极。

在该专利文献1中公开有一种弹性表面波传感器，在压电性基板上，在构成发送电极部的IDT与构成接收电极部的IDT之间，作为检体的液体被导入的检测区域(成为传感器表面的区域)。在该弹性表面波传感器中，通过测定由滴下的液体试样所引起的检查区域的表面弹性波的传送速度(或相位)的变化量，检测在液体试样中是否含有检体、检体的浓度等。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2008-286606号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

然而，专利文献1记载的弹性表面波传感器通过将溶液直接滴下至传感器表面的方法、或将传感器表面浸渍于溶液的方法而被利用。

因此，存在传感器表面必须采用露出的结构，容易在表面产生创伤等损伤，不能够简易地测定这样的问题。

另外，为了充分地确保测定的精度而要求滴下的溶液可靠地遮盖传感器表面，但是也存在滴下溶液的方法不能够满足该要求这样的问题。

另外，也存在滴下的溶液在所期望的测定时间中由于挥发等而不能够维持这样的问题。

另外，在专利文献1记载的技术中，由于设置密封结构，因而存在增加制造成本这样的问题。

另外，在专利文献1记载的技术中，当发送电极与接收电极之间的宽度以及检测区域的宽度长时，如果将检体浓度高的液体试样向检测区域滴下，则传感器面与检体的反应饱和。在反应饱和时，表面弹性波传播损失变大，因而表面弹性波的振幅变小或变为0。在表面弹性波的振幅变为0时，弹性表面波传感器存在检测液体试样中的检体变得困难这样的课题。

本发明是鉴于上述的问题点而做出的，提供能够简易地测定并且能够提高测定精度的弹性表面波传感器。

另外，本发明提供能够削减制造成本的弹性表面波传感器。

另外，本发明的目的在于提供检体的检测容易的弹性表面波传感器。

解决技术问题的技术方案

本发明是为了解决上述的课题而做出的，本发明的一种方式的弹性表面波传感器具备：传播弹性表面波的压电元件；进行电信号与表面弹性波的转换的电极(电极部)；以及与所述压电元件接触、液体浸润的多孔性基材。

本发明的一种方式的弹性表面波传感器，优选具备：检测区域，配置于所述弹性表面波的传播路径，作为检体的液体被导入；以及密封结构，防止所述电极与液体接触，所述多孔性基材与所述检测区域接触。

在本发明的一种方式的弹性表面波传感器中优选，所述多孔性基材具有在俯视图中与所述检测区域不重叠的部分。